編號(hào)：FTJS10234
篇名：熱解法在氮化硼基底上沉積碳膜衰減器的工藝研究
作者：張彬 高闿閱 高志強(qiáng) 程飛 高學(xué)強(qiáng) 張志強(qiáng)
關(guān)鍵詞： 螺旋線(xiàn)行波管 碳膜衰減器 熱解法 氮化硼
機(jī)構(gòu)： 濟(jì)鋼防務(wù)技術(shù)有限公司 山東微波電真空技術(shù)有限公司 棗莊學(xué)院
摘要： 螺旋線(xiàn)行波管是一種應(yīng)用較為廣泛的寬頻帶、高增益行波功率放大器件。衰減器是提高管子性能穩(wěn)定性的關(guān)鍵部件之一。它不僅可以吸收在管子輸入、輸出端及切斷端傳輸介質(zhì)的變化引起的反射波,抑制反射波和向前波疊加引起的自激振蕩;而且,可以減小傳輸電路在輸入、輸出端及切斷端產(chǎn)生的阻抗不匹配的影響,擴(kuò)寬行波管有效傳播的頻帶寬度;同時(shí)可以避免陶瓷桿的上的電荷積累造成的放電或電弧。文章通過(guò)低壓真空熱解正庚烷,調(diào)整加熱場(chǎng)熱子溫度、加熱時(shí)間、腔室氣壓、氣體流動(dòng)等因素,制備出了滿(mǎn)足螺旋線(xiàn)行波管設(shè)計(jì)要求的碳膜衰減器。主要闡述和驗(yàn)證了碳膜衰減器制備過(guò)程中從選材到制備過(guò)程中的工藝要求及各因素對(duì)碳膜衰減器阻值的影響,為螺旋線(xiàn)行波管碳膜衰減器的制備提供了實(shí)驗(yàn)依據(jù)。
