編號：FTJS10296
篇名：氮化鋅的制備及應(yīng)用研究進展
作者：康珍 李勝楠 徐成瑜 熊莉佳 竇澤偉 李曉月 范天博 張福群 郭洪范
關(guān)鍵詞： 氮化鋅 制備方法 應(yīng)用 晶體管 傳感器
機構(gòu)： 沈陽化工大學
摘要： 氮化鋅屬于過渡金屬氮化物,具有反方鐵錳礦結(jié)構(gòu),呈n型導電性。氮化鋅材料分為薄膜和顆粒狀。薄膜制備方法包括磁控濺射法、氣相沉積技術(shù)、分子束外延技術(shù)等;顆�？赏ㄟ^在含氮氣體或氮化合物溶液中氮化鋅前驅(qū)體制備,分別獲得粉體或膠體。氮化鋅具有高電子遷移率和高載流子濃度的優(yōu)良性質(zhì),這使它在光學和電子器件等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。綜述了氮化鋅材料的制備方法及應(yīng)用研究進展,希望對氮化鋅材料的發(fā)展提供一些思路。
