編號：CYYJ03984
篇名：基于鈀納米顆粒導(dǎo)電溝道的室溫型氫氣傳感器的研究
作者：涂建鑫 鄒杰 孫靖遠 張文冰 畢春躍 謝光忠 簡家文
關(guān)鍵詞： 叉指電極 氫氣 傳感器 Pd納米顆粒 氫致晶格膨脹
機構(gòu)： 寧波大學(xué)信息科學(xué)與工程學(xué)院 電子科技大學(xué)光電科學(xué)與工程學(xué)院 浙江萬里學(xué)院大數(shù)據(jù)與軟件工程學(xué)院
摘要： 隨著氫能的廣泛應(yīng)用,檢測氫氣(H2)泄漏十分必要。采用溶劑熱法合成鈀(Pd)納米顆粒,結(jié)合旋涂法從極大程度上簡化了覆蓋敏感層工藝,在利用微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝制備的硅基金(Au)叉指電極上研究了基于“氫致Pd晶格膨脹效應(yīng)(HILE)”的裂結(jié)式H2傳感器的敏感特性,為低成本批量化制備室溫型氫氣傳感器提供了可行性研究。結(jié)果表明該傳感器對H2的響應(yīng)值與Pd納米顆粒在基底上的覆蓋率密切相關(guān):覆蓋率在一定范圍內(nèi)越大,響應(yīng)值越小。在室溫下,該類傳感器對500×10-6~2500×10-6H2表現(xiàn)出了較快的響應(yīng)速度:響應(yīng)時間在5 s左右,恢復(fù)時間在25 s左右,具有較高的響應(yīng)值:在2500×10-6H2氣氛下高達83%,有較好的選擇性和穩(wěn)定性。
