編號:SBJS01079
篇名:硼擴散設備溫度控制系統(tǒng)的研究與實現(xiàn)
作者:彭浩 黃心沿 吳志明 鄒臻峰
關鍵詞: TOPCon太陽電池 硼擴散設備 溫度控制系統(tǒng) 插片方式 分區(qū)爐體
機構: 湖南紅太陽光電科技有限公司 中國電子科技集團第四十八研究所 中南大學傳感技術研究所
摘要: 近年來,隨著光伏行業(yè)持續(xù)快速的發(fā)展,n型TOPCon太陽電池技術路線得到市場認可,產(chǎn)能不斷擴張。硼擴散設備作為TOPCon太陽電池核心工藝設備之一受到市場極大的關注,其溫度控制系統(tǒng)在工藝生產(chǎn)過程起著決定性的作用。對比硼擴散設備實際應用過程中傳統(tǒng)爐體使用水平插片方式和順氣流垂直插片方式后得到的硅片片間的方阻均勻性,發(fā)現(xiàn)水平插片方式存在舟內中層硅片方阻偏高,方阻均勻性不滿足技術性指標要求的問題。對此設計了新型分區(qū)爐體,提出3種溫度控制系統(tǒng)方案,并通過工藝驗證得出滿足技術性指標要求的方案。研究結果表明:分區(qū)爐體搭配水平插片方式時,采用溫度控制系統(tǒng)方案3可以滿足技術性指標的要求。