編號：FTJS106901
篇名：不同環(huán)境下飛秒激光燒蝕對砷化鎵光電特性的影響(特邀)
作者：李揚 項焱蓉 藍志強 金鉆明 朱亦鳴
關(guān)鍵詞： 超快光學 光電子學 飛秒激光 激光燒蝕 光電導材料
機構(gòu)： 上海理工大學光電信息與計算機工程學院
摘要： 飛秒激光燒蝕技術(shù)是半導體表面改性的一項重要技術(shù)手段。本文旨在探究飛秒激光燒蝕技術(shù)對砷化鎵表面微納結(jié)構(gòu)及光電性能的調(diào)控效應。通過在不同環(huán)境下進行飛秒激光加工,觀察到樣品表面形成了規(guī)則的條紋狀結(jié)構(gòu)、部分規(guī)則的條紋狀結(jié)構(gòu)和不規(guī)則的橢圓狀結(jié)構(gòu)。通過使用X-射線光電子能譜儀測試了材料表面性質(zhì)的變化,同時通過傅里葉變換紅外光譜分析驗證了微納結(jié)構(gòu)對光吸收率產(chǎn)生的影響。此外,電流-電壓曲線測量結(jié)果表明,經(jīng)過飛秒激光燒蝕處理后的樣品顯示出更高的電阻率。證明了氣體的選擇對微納結(jié)構(gòu)和光電性能的調(diào)控有著重要影響。這項研究為砷化鎵光電子器件,特別是高效、耐壓型探測器等性能的提升提供了新的技術(shù)手段。
