編號(hào)：NMJS09304
篇名：新一代半導(dǎo)體材料氧化鎵單晶的制備和超精密加工技術(shù)
作者：楊胤萱
關(guān)鍵詞： 氧化鎵單晶 制備技術(shù) 超精密加工技術(shù)
機(jī)構(gòu)： 山東大學(xué)集成電路學(xué)院
摘要： 本文針對(duì)新一代半導(dǎo)體材料氧化鎵單晶的制備和超精密加工技術(shù)進(jìn)行研究。文章分析國(guó)內(nèi)外氧化鎵單晶制備與加工技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀,研究氧化鎵單晶制備技術(shù),包括氧化鎵單晶基本性質(zhì)、氧化鎵單晶生長(zhǎng)方法分類(lèi)及原理,探究氧化鎵單晶的超精密加工技術(shù)。通過(guò)研究發(fā)現(xiàn):氧化鎵單晶的超精密加工技術(shù)能實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量表面的制備,使加工精度達(dá)到納米級(jí),有效提高加工精度和質(zhì)量。
