編號：FTJS00044
篇名：影響氣敏α-Fe2O3超細(xì)粒體粒度因素的研究
作者：謝鋒
關(guān)鍵詞：氣敏元件 共沉淀 粒度 靈敏度
機(jī)構(gòu)： 曙光電子集團(tuán)有限公司
摘要： 討論化學(xué)共沉淀法工藝與粒度的關(guān)系。用化學(xué)共沉淀法，采用適當(dāng)?shù)膿诫s、起始濃度、共沉淀溫度和老化時間可以獲得粒度較小的粉體。討論了α-Fe2O3的氣敏機(jī)理以及摻雜對其靈敏度的影響。優(yōu)選出合理的工藝而制得的粉體，其粒度在0.21μm以下，用此材料制得的電阻式α-Fe2O3氣敏元件，其靈敏度RA/RG(0.5)在6.0以上，而不用任何貴金屬作催化劑。
出處：傳感器技術(shù)1999 05
