編號：NMJS00817
篇名：模糊PID控制在納米微動臺系統中的應用
作者：劉經宇; 尹文生; 朱煜;
關鍵詞：模糊自適應PID控制; 納米級; 微動臺;
機構： 清華大學精密儀器與機械學系摩擦學國家重點實驗室;
摘要： 針對在納米級運動控制中,傳統PID算法的參數配置在抑制系統運動超調、提高系統定位精度,以及保障系統穩(wěn)定性等方面存在矛盾的問題,提出了將模糊自適應PID控制器應用于該系統的方案。并基于大量工程整定實驗,給出了針對納米量級控制特點的模糊集設置和模糊整定規(guī)則,選取了合理的PID參數論域取值。實驗結果表明,所設計的模糊控制器通過動態(tài)調整PID參數的增量,有效改善了微動臺系統的動態(tài)性能,降低了動態(tài)響應的超調,且保證了在一定擾動下系統小于±10 nm的定位精度和魯棒穩(wěn)定性。驗證了模糊自適應PID控制方法應用于納米量級運動控制領域的有效性,以及基于實驗的模糊規(guī)則設計、論域選取方法的可行性。
