編號(hào):NMJS00915
篇名:高壓處理對(duì)納米碳化硅形貌的影響
作者:高文麗; 田旭; 陳麗英; 王禧艷;
關(guān)鍵詞:高壓; 納米碳化硅; 粒徑;
機(jī)構(gòu): 武漢理工大學(xué)理學(xué)院;
摘要: 納米科學(xué)技術(shù)是21世紀(jì)的三大科學(xué)技術(shù)之一,納米半導(dǎo)體的性質(zhì)就特別引人矚目。介紹了納米碳化硅在冷高壓條件下的表面特性以及晶體在透射電鏡下的微觀結(jié)構(gòu)。結(jié)果表明,晶體粒徑隨壓力的增大而增大,納米碳化硅的致密性得到提高。