編號(hào)：NMJS01036
篇名：單模光纖與SOI納米線波導(dǎo)耦合設(shè)計(jì)
作者：曹敏; 陳夠喜; 仝曉剛;
關(guān)鍵詞：集成光學(xué); SOI納米線波導(dǎo); 光柵耦合器; 耦合效率;
機(jī)構(gòu)： 中北大學(xué)電子與計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)學(xué)院;
摘要： 波導(dǎo)光柵在集成光學(xué)發(fā)展中扮演著重要的角色。與其他的耦合方法相比,光柵耦合器具有耦合效率高、制備封裝成本低、無(wú)需芯片端面拋光、可以在任何地方實(shí)現(xiàn)信號(hào)輸入輸出等優(yōu)點(diǎn),成為納米光波導(dǎo)最有潛力的耦合方法。本文提出利用OPTIFDTD軟件仿真結(jié)合MATLAB編程的方法精確計(jì)算光柵耦合效率的新方法。仿真分析了光柵的周期、槽深、占空比、SiO2層厚度等光柵參數(shù)對(duì)耦合效率的影響,并給出了使輸入光柵耦合器耦合效率達(dá)到42.6%;輸出光柵耦合器的耦合效率達(dá)到72.3%的一組最佳光柵參數(shù)。
