編號(hào)：FTJS01395
篇名：燃燒法合成Al摻雜β-SiC粉體的工藝參數(shù)對(duì)其介電性能的影響
作者：蘇曉磊; 周萬(wàn)城; 徐潔; 李智敏; 王俊勃; 賀辛亥; 付翀; 張李峰;
關(guān)鍵詞：燃燒合成法; 碳化硅; 介電性能;
機(jī)構(gòu)： 西安工程大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院; 西北工業(yè)大學(xué)材料學(xué)院; 西安電子科技大學(xué)技術(shù)物理學(xué)院; 陜西電力科學(xué)研究院;
摘要： 采用燃燒合成法,以硅粉和炭黑為原料,鋁粉為摻雜劑,聚四氟乙烯為助燃劑,分別在不同坯體壓力下制備成坯體,在0.1MPa的氮?dú)鈿夥罩泻铣葾l摻雜β-SiC粉體。通過(guò)X射線衍射、掃描電鏡和電子能譜對(duì)合成粉體的物相、微觀結(jié)構(gòu)及形貌進(jìn)行了表征。同時(shí)在8.2～12.4GHz頻率范圍內(nèi)進(jìn)行了介電性能測(cè)試。結(jié)果表明隨著坯體壓力的增大,合成β-SiC粉體的晶格參數(shù)隨之減小,且其介電性能隨之降低。對(duì)合成機(jī)理和Al摻雜對(duì)SiC介電性能的影響進(jìn)行了討論。
