編號：NMJS01113
篇名：Fe/Cu納米多層薄膜中內(nèi)應力對其力學性能的影響
作者：艾利娟; 祝江平; 吳曉玲; 鄭瑞廷; 程國安;
關鍵詞：Fe/Cu納米多層薄膜; 內(nèi)應力; 納米硬度; 彈性模量;
機構(gòu)： 北京師范大學射線束技術(shù)與材料改性教育部重點實驗室北京師范大學核科學與技術(shù)學院;
摘要： 利用直流磁控濺射方法制備了Fe/Cu納米多層膜,使用掃描電子顯微鏡(SEM)、薄膜應力分布測試儀和納米壓痕技術(shù)研究了不同周期結(jié)構(gòu)Fe/Cu納米多層薄膜的內(nèi)應力及其納米力學性能.在Fe/Cu納米多層薄膜中,由于鐵和銅的結(jié)構(gòu)和本征性能的差異,形成多層膜結(jié)構(gòu)后存在張應力,其張應力在周期T=10時達到910.08 MPa,對應的納米硬度為12.3 GPa.隨著多層薄膜調(diào)制周期數(shù)T的增加而內(nèi)應力逐漸降低,納米硬度和彈性模量隨著張應力緩釋也出現(xiàn)下降.根據(jù)納米薄膜內(nèi)應力對其力學性能的影響,探討了內(nèi)應力與薄膜納米力學性能的相關性.
