編號：NMJS01152
篇名：多目標(biāo)拓?fù)鋬?yōu)化設(shè)計在納米定位平臺中的應(yīng)用
作者：陳立國; 張洋; 陳濤; 榮偉彬; 孫立寧;
關(guān)鍵詞：納米定位平臺; 拓?fù)鋬?yōu)化; 多目標(biāo)設(shè)計; 楔形預(yù)緊;
機(jī)構(gòu)： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)機(jī)器人研究所; 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)國家重點聯(lián)合實驗室;
摘要： 納米定位平臺在微型機(jī)械和精密儀器的設(shè)計和制造領(lǐng)域起著重要作用。該文將拓?fù)鋬?yōu)化引入到壓電陶瓷驅(qū)動的一維納米定位平臺設(shè)計中,并利用多目標(biāo)設(shè)計方法對平臺的運動和結(jié)構(gòu)需求進(jìn)行了優(yōu)化,采用楔形預(yù)緊結(jié)構(gòu)對壓電陶瓷進(jìn)行緊密預(yù)緊。經(jīng)有限元仿真和實驗驗證,該實驗系統(tǒng)輸出位移達(dá)10μm,定位精度5 nm,耦合誤差小于1%。實驗證明,該方法為納米定位平臺的設(shè)計和制造提供了一種新穎、靈活、有效的方法。
