編號：NMJS02044
篇名：納米力學(xué)測試系統(tǒng)位移傳感器校準(zhǔn)裝置
作者：任冬梅； 朱振宇； 萬宇； 王少飛；
關(guān)鍵詞：干涉儀； 微位移測量； 納米壓入； 校準(zhǔn)；
機構(gòu)： 中航工業(yè)北京長城計量測試技術(shù)研究所；
摘要： 介紹了用激光干涉方法對納米力學(xué)測試系統(tǒng)位移傳感器進行校準(zhǔn)的方法,并建立了校準(zhǔn)裝置;采用平衡式光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計,干涉系統(tǒng)的抗干擾能力得到了顯著提高,通過零位移測量實驗對裝置的穩(wěn)定性進行了驗證;用校準(zhǔn)裝置對TriboIndenter納米力學(xué)測試系統(tǒng)的位移傳感器進行了校準(zhǔn)實驗,測量不確定度分析結(jié)果表明該系統(tǒng)測量壓頭位移的準(zhǔn)確度可以達到納米量級。
