編號：NMJS02222
篇名：納米坐標測量機的三維接觸式測頭機構
作者：合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院；
關鍵詞：三維微/納米測量； 坐標測量機測頭； 布拉格光纖光柵傳感器；
機構： 合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院；
摘要： 介紹了一種新型的用于納米坐標測量機的三維微納米接觸觸發(fā)式測頭機構.本測頭以靈敏度高、抗干擾性強的布拉格光纖光柵(FBG)為測量的敏感元件,根據(jù)FBG對軸向應變變化敏感的特點,開發(fā)了一套有效觸發(fā)測量力小的柔性懸架機構,該機構為三懸絲-六邊中心連接體的懸架結構,相間隔的3邊延伸懸臂與3根布拉格光纖光柵相連,當測球發(fā)生預行程變化時,由測桿帶動柔性懸架機構產生偏擺,從而帶動3根FBG發(fā)生軸向的拉伸或壓縮,進而產生傳感信號的輸出.由于測頭結構復位性是衡量測球和工件分離后能否回到初始位置的標準,是測頭其他各項指標的基礎,因此結合激光干涉儀和精密微動平臺,采用光學非接觸干涉測量方法對該測頭機構的實際復位性能進行了測量.結果表明,測頭系統(tǒng)采用15 N的預緊力安裝懸絲,可得到較好的復位性和靈敏度,該測頭機構復位性精度在20 nm以內,滿足微納米量級高精度測量的需要.
