編號(hào)：NMJS02256
篇名：納米級(jí)超精密定位工作臺(tái)的研究
作者：張金龍； 劉陽(yáng)； 郭怡倩； 劉京南； 內(nèi)田敬久；
關(guān)鍵詞：莫爾信號(hào)； 納米定位； 神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)； 智能控制；
機(jī)構(gòu)： 南京師范大學(xué)電氣與自動(dòng)化工程學(xué)院； 東南大學(xué)自動(dòng)化學(xué)院； 愛知工業(yè)大學(xué)；
摘要： 研制了一套基于激光莫爾信號(hào)的超精密定位工作臺(tái),定位臺(tái)以微型計(jì)算機(jī)為核心,采用激光莫爾傳感器檢測(cè)位置偏差,通過(guò)光、機(jī)、電的有機(jī)結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)超精密自動(dòng)定位。定位裝置采用串聯(lián)型粗、微雙驅(qū)動(dòng)的精密定位系統(tǒng),粗動(dòng)臺(tái)由步進(jìn)電動(dòng)機(jī)通過(guò)精密絲杠機(jī)構(gòu)直接驅(qū)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)大行程微米級(jí)定位,微動(dòng)臺(tái)由壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng),可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位。針對(duì)系統(tǒng)存在非線性、時(shí)變性,經(jīng)典PID控制無(wú)法達(dá)到理想控制效果的缺陷,提出基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的精密定位智能控制,可有效改善定位系統(tǒng)的動(dòng)、靜態(tài)性能,提高重復(fù)精度。試驗(yàn)結(jié)果表明,精密定位臺(tái)的工作行程可達(dá)50 mm,定位精度為±10 nm,定位時(shí)間小于30 s。
