編號：NMJS02311
篇名：高精度6inchF/5.4球面標(biāo)準(zhǔn)具結(jié)構(gòu)研究與設(shè)計(jì)
作者：田偉； 史振廣； 隋永新； 楊懷江；
關(guān)鍵詞：應(yīng)用光學(xué)； 光學(xué)檢測； 球面標(biāo)準(zhǔn)具； 參考面； 有限元法；
機(jī)構(gòu)： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；
摘要： 193nm光刻投影物鏡光學(xué)元件面形精度為納米級,因此要求檢測精度為納米到亞納米級。在高精度的光學(xué)元件面形檢測中,為了保證檢測的精度,干涉儀標(biāo)準(zhǔn)球面鏡的精度要優(yōu)于λ/40。根據(jù)檢測要求,設(shè)計(jì)了一種新的標(biāo)準(zhǔn)鏡裝卡結(jié)構(gòu)。采用有限元方法分析了參考面在重力作用下的面形變化情況,其最大面變形變化峰谷(PV)值僅為4.88nm,均方根(RMS)值為1.04nm。同時(shí)對不同環(huán)境溫度下參考面的變形進(jìn)行了計(jì)算得出面形的峰谷值和均方根值。利用標(biāo)準(zhǔn)具面形的Zernike系數(shù),得到了標(biāo)準(zhǔn)具系統(tǒng)的MTF,以實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)具在重力作用下的像質(zhì)評價(jià)。結(jié)果表明,所設(shè)計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)具的結(jié)構(gòu)可以滿足標(biāo)準(zhǔn)具的設(shè)計(jì)要求。最后設(shè)計(jì)了差動螺釘驅(qū)動誤差補(bǔ)償機(jī)構(gòu)。
