編號:NMJS02386
篇名:微電子機(jī)械系統(tǒng)及其加工工藝簡述
作者:薛小紅;
關(guān)鍵詞:微電子機(jī)械系統(tǒng); 體微加工; 表面微加工; LIGA;
機(jī)構(gòu): 齊齊哈爾職業(yè)學(xué)院;
摘要: 微電子機(jī)械系統(tǒng)是一項(xiàng)建立在微納米技術(shù)基礎(chǔ)上的前沿技術(shù),是對微納米材料進(jìn)行設(shè)計、加工、制造和控制的技術(shù)。硅微機(jī)械加工工藝是近年來隨著集成電路工藝發(fā)展起來的微電子機(jī)械系統(tǒng)主流技術(shù)。介紹了微電子機(jī)械系統(tǒng)的特點(diǎn),并討論了微電子機(jī)械系統(tǒng)的三種加工方法。