編號：FTJS02786
篇名：用脈沖激光沉積法在Al_2O_3上沉積類金剛石薄膜
作者：羅樂； 儲(chǔ)雅瓊； 秦娟娟； 方曉東； 方尚旭； 陶汝華；
關(guān)鍵詞：脈沖激光沉積法； 類金剛石薄膜； 襯底溫度； 沉積時(shí)間； 黏附性； 微觀結(jié)構(gòu)；
機(jī)構(gòu)： 合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院； 中國科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所；
摘要： 為了研究沉積時(shí)間和襯底溫度對類金剛石薄膜的影響,在用脈沖激光沉積法在Al2O3襯底上制備類金剛石薄膜的實(shí)驗(yàn)中,保持其他實(shí)驗(yàn)參數(shù)不變,先取沉積時(shí)間分別為15 min和40 min來沉積薄膜;再取襯底溫度分別30℃和300℃來沉積薄膜。用顯微鏡觀察薄膜是否有起皺現(xiàn)象,用Raman光譜儀檢測薄膜的微觀結(jié)構(gòu),用原子力顯微鏡檢測薄膜的表面形貌。結(jié)果表明:薄膜中存在一些石墨顆粒。沉積時(shí)間和襯底溫度對薄膜的黏附性和微觀結(jié)構(gòu)均有顯著影響——延長沉積時(shí)間或升高襯底溫度都將導(dǎo)致薄膜內(nèi)的殘余應(yīng)力增加和薄膜起皺。縮短沉積時(shí)間或升高襯底溫度都將導(dǎo)致薄膜中的sp3/sp2比值減小、非晶態(tài)的sp2鍵向石墨晶相轉(zhuǎn)化、石墨晶粒數(shù)量增多,體積增大。最后,根據(jù)脈沖激光沉積類金剛石薄膜的機(jī)理對實(shí)驗(yàn)現(xiàn)象進(jìn)行了分析。
