編號：NMJS02864
篇名：碳納米管壓力傳感器研究進(jìn)展
作者：張錦文； 李偉；
關(guān)鍵詞：碳納米管； 壓力傳感器； 壓阻特性； 場發(fā)射特性； 溫敏特性；
機(jī)構(gòu)： 北京大學(xué)微電子學(xué)研究院微米/納米加工技術(shù)國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室； 北京大學(xué)深圳研究生院；
摘要： 碳納米管因其獨(dú)特而優(yōu)異的電學(xué)、力學(xué)、熱學(xué)、化學(xué)及電子特性等在很多領(lǐng)域上展現(xiàn)應(yīng)用的潛力,而近年來碳納米管在壓力傳感器方面的應(yīng)用成為研究熱點(diǎn)之一。本文綜述了碳納米管壓力傳感器的基本原理以及研究進(jìn)展,并對不同類型的碳納米管壓力傳感器進(jìn)行了比較。
