編號(hào)：NMJS02943
篇名：納米壓印中聚合物界面行為的分子動(dòng)力學(xué)
作者：熊孝東； 魏正英； 杜軍； 丁玉成；
關(guān)鍵詞：納米壓��； 分子動(dòng)力學(xué)； 聚合物； 吸附； 相互作用能；
機(jī)構(gòu)： 機(jī)械制造系統(tǒng)工程國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(西安交通大學(xué))；
摘要： 在納米壓印中,模具和聚合物之間的相互作用能對(duì)(?)特征的圖型轉(zhuǎn)移質(zhì)量有著重要影響,文中利用分子動(dòng)力學(xué)分別選擇聚二甲基硅氧(PDMS),聚乙烯(PE),聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)研究了他們和模具壁面之間在不同距離時(shí),壁面和聚合物之間相互作用能的變化關(guān)系,并考慮聚合物填充過(guò)程中壓強(qiáng)對(duì)模具壁面和聚合物之間相互作用的影響,以及聚合物聚合度對(duì)他們之間的影響。通過(guò)研究得出,聚合物和壁面之間相互作用能隨距離的增大而減小,隨聚合物聚合度的增加而增大;對(duì)于常溫紫外壓印,壓強(qiáng)在233 kPa左右時(shí)聚合物和模具壁面間的相互作用能出現(xiàn)了峰值點(diǎn)。
