編號(hào)：FTJS02905
篇名：非平衡磁控濺射沉積類石墨碳膜結(jié)構(gòu)及其摩擦學(xué)性能
作者：王永軍； 李紅軒； 吉利； 劉曉紅； 吳艷霞； 周惠娣； 陳建敏；
關(guān)鍵詞：類石墨碳膜； 磁控濺射； 摩擦磨損；
機(jī)構(gòu)： 中國(guó)科學(xué)院蘭州化學(xué)物理研究所固體潤(rùn)滑國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室； 中國(guó)科學(xué)院北京研究生院；
摘要： 利用非平衡磁控濺射技術(shù)在單晶硅基底上沉積了類石墨非晶碳膜。利用X射線光電子光譜、Ram an光譜、高分辨透射電子顯微鏡及原子力顯微鏡對(duì)沉積薄膜的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)表征;利用納米壓痕儀和球盤摩擦試驗(yàn)機(jī)分別對(duì)其力學(xué)性能和摩擦學(xué)性能進(jìn)行了測(cè)試。結(jié)果表明,當(dāng)前制備的非晶碳膜中sp2雜化碳占主導(dǎo)呈現(xiàn)出類石墨特征,但薄膜硬度可達(dá)14.2 GPa。大氣環(huán)境中的摩擦性能測(cè)試表明,所制備的類石墨非晶薄膜具有優(yōu)異的摩擦學(xué)性能:其承載能力高達(dá)2.8 GPa,同時(shí)具有較低摩擦因數(shù)(~0.05)和磨損率(~10-11cm3/Nm)。類石墨碳膜優(yōu)異的摩擦學(xué)性能主要?dú)w因于其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)、較低的內(nèi)應(yīng)力及良好的熱穩(wěn)定性。
