編號：CPJS01429
篇名：溶膠-凝膠法制備SiO_2薄膜工藝研究
作者：商靈芝； 董進會；
關鍵詞：溶膠-凝膠法； 二氧化硅薄膜； 潤濕性能；
機構： 唐山陶瓷股份有限公司；
摘要： 以正硅酸乙酯為前驅體,以溶膠-凝膠法制備SiO2溶膠并且采用提拉法在玻璃基片上制備二氧化硅薄膜。研究了反應過程中反應溫度、反應時間、催化劑、乙醇和水的加入量對溶膠性質和成膜性能的影響,研究了提拉速度和焙燒溫度對二氧化硅薄膜潤濕性能的影響。實驗結果表明,適宜的反應條件為:反應物的摩爾比TEOS∶EtOH∶H2O=1∶1.5∶1.0,反應溫度70℃,pH=3,反應時間1h,薄膜適宜的焙燒溫度為450℃。所制備出的二氧化硅薄膜均勻透明,潤濕性能良好。
