編號：NMJS03134
篇名：工作氣壓和基底偏壓對ZrB2/AlN納米多層膜結(jié)構(gòu)和機械性能的影響
作者：龔杰； 劉孟寅； 王海媛； 薛鳳英； 顏景岳； 張帥； 王暉； 李德軍；
關鍵詞：射頻磁控濺射； ZrB2/AlN納米多層薄膜； 工作氣壓； 基底偏壓； 硬度；
機構(gòu)： 天津師范大學物理與電子信息學院；
摘要： 利用射頻磁控濺射技術在不同工作氣壓和不同基底偏壓條件下在Si(100)基底上設計合成了ZrB2/AlN納米多層膜。利用X射線衍射、掃描電子顯微鏡、納米力學測試系統(tǒng)和表面輪廓儀分析了工作氣壓和基底偏壓對薄膜的微結(jié)構(gòu)和機械性能的影響。結(jié)果表明:大部分ZrB2/AlN多層膜的納米硬度與彈性模量值高于兩種個體材料的混合值。當工作氣壓為0.4Pa,基底偏壓為-60 V時,制備的薄膜具有最高的硬度(36.8 GPa)、最高的彈性模量(488.7 GPa)和最高的臨界載荷(43.6 mN)�；灼珘旱纳吆凸ぷ鳉鈮旱慕档蜁钩练e粒子的動能提高,引起薄膜表面原子遷移率提高,導致薄膜的原子密度提高,起到位錯釘扎的作用,晶粒尺度也被限制在納米尺度,這些均對提高薄膜的硬度和抗裂強度起到了作用。
