前言
氮化鋁(AlN)具有高導(dǎo)熱、絕緣、低膨脹、無(wú)磁等優(yōu)異性能,是半導(dǎo)體、電真空等領(lǐng)域高端裝備的關(guān)鍵材料。尤其是進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái),隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展,電子整機(jī)和電子元器件正朝微型化、輕型化、集成化,以及高可靠性和大功率輸出等方向發(fā)展,越來(lái)越復(fù)雜的器件對(duì)基片和封裝材料的散熱提出了更高要求,進(jìn)一步促進(jìn)了氮化鋁產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。
原料技藝
高性能氮化鋁陶瓷最終取決于氮化鋁粉體的質(zhì)量,到目前為止,制備氮化鋁粉體有氧化鋁粉碳熱還原法、鋁粉直接氮化法、化學(xué)氣相沉積法、自蔓延高溫合成法等多種方法,各種方法都有其自身的優(yōu)缺點(diǎn)。
閱讀正文燒結(jié)過(guò)程是氮化鋁陶瓷制備的一個(gè)重要階段,直接影響陶瓷的顯微結(jié)構(gòu)如晶粒尺寸與分布、氣孔率和晶界體積分?jǐn)?shù)等,因此燒結(jié)技術(shù)成為制備高質(zhì)量氮化鋁陶瓷的關(guān)鍵技術(shù)。
閱讀正文要想提高氮化鋁陶瓷在實(shí)際應(yīng)用中的熱導(dǎo)率,兩個(gè)關(guān)鍵難題必須解決:一是降低氧雜質(zhì)原子的存在;二是實(shí)現(xiàn)致密燒結(jié)。
閱讀正文中國(guó)粉體網(wǎng)將在鄭州舉辦“2021第四屆新型陶瓷技術(shù)與產(chǎn)業(yè)高峰論壇”。屆時(shí),來(lái)自北京科技大學(xué)的秦明禮教授帶來(lái)題為《高導(dǎo)熱復(fù)雜氮化鋁陶瓷制品的精密制造技術(shù)》的報(bào)告。
閱讀正文由于晶須很低的雜質(zhì)含量和很少的晶格缺陷,使其有可能達(dá)到或接近理論熱導(dǎo)率以及接近其完整晶體材料理論值的強(qiáng)度和模量。
閱讀正文AlN陶瓷材料具有高熱導(dǎo)率、低介電常數(shù)、與硅相匹配的熱膨脹系數(shù)、高電阻、低密度、熱化學(xué)穩(wěn)定性好、機(jī)械性能良好、成本低、無(wú)毒等優(yōu)點(diǎn),使其在航空航天、大規(guī)模集成電路等重要領(lǐng)域的應(yīng)用有著巨大的優(yōu)勢(shì),因此受到國(guó)內(nèi)外科研工作者和生產(chǎn)廠家越來(lái)越廣泛的重視。
閱讀正文隨著電子技術(shù)的迅猛發(fā)展,集成電路的散熱性問(wèn)題逐漸得到重視。高純AlN單晶的熱導(dǎo)率最高可達(dá)到319W/(m·K)。其具有高熱導(dǎo)率、高溫絕緣性和優(yōu)良介電性能、良好耐腐蝕性、與半導(dǎo)體Si相匹配的膨脹性能等優(yōu)點(diǎn)。因此成為優(yōu)良的電子封裝散熱材料,能高效地散除大型集成電路的熱量,是組裝大型集成電路所必需的高性能陶瓷基片材料。
閱讀正文產(chǎn)業(yè)透視
隨著集成電路成為了國(guó)家戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),除碳化硅以外,很多半導(dǎo)體材料得以被研究開(kāi)發(fā),氮化鋁無(wú)疑是其中最具有發(fā)展前景的半導(dǎo)體材料之一。
中國(guó)鋁業(yè)集團(tuán)有限公司所屬中鋁新材料有限公司自主研發(fā)生產(chǎn)的高純度超細(xì)氮化鋁粉體成功入選《中央企業(yè)科技創(chuàng)新成果推薦目錄(2022年版)》。
在2021第四屆新型陶瓷技術(shù)與產(chǎn)業(yè)高峰論壇期間,我們有幸邀請(qǐng)到了北京科技大學(xué)的秦明禮教授做客“對(duì)話”欄目,一起來(lái)聽(tīng)一聽(tīng)秦教授聊氮化鋁!
氮化鋁(AlN)陶瓷具有良好的熱性能、電性能、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性,是現(xiàn)今較為理想的基板材料和電子封裝材料。AlN陶瓷的優(yōu)良性能與原材料粉體的性能有著直接的關(guān)系,高性能AlN粉體是制備高熱導(dǎo)率AlN陶瓷的關(guān)鍵。
成型是為了得到內(nèi)部均勻和密度高的陶瓷坯體,是氮化鋁陶瓷制備工藝中的重要環(huán)節(jié),因?yàn)榻Y(jié)構(gòu)陶瓷的成型技術(shù)在很大程度上決定了坯體的均勻性和制備復(fù)雜形狀部件的能力,并直接影響到陶瓷材料的可靠性和陶瓷零部件的制造效率與成本。
氮化鋁陶瓷是由氮化鋁粉體燒結(jié)而成,高質(zhì)量粉末原料是獲得高性能氮化鋁陶瓷的先決條件,要制備高導(dǎo)熱的氮化鋁陶瓷,首先需要制備出高純度、細(xì)粒度、分散性好和燒結(jié)性優(yōu)的氮化鋁粉末。本篇盤點(diǎn)一下國(guó)內(nèi)生產(chǎn)氮化鋁粉體的部分企業(yè)。
成立于2017年的正天新材通過(guò)自主創(chuàng)新,掌握了流延、裁切、沖片、燒結(jié)及后道CNC、研磨、拋光、激光切割等完整加工鏈核心技術(shù),在高性能、大尺寸氮化鋁陶瓷基板方面實(shí)現(xiàn)了重要突破。
近幾年氮化鋁陶瓷基板市場(chǎng)發(fā)展迅速,國(guó)內(nèi)有哪些企業(yè)生產(chǎn)?
行業(yè)應(yīng)用
氮化鋁陶瓷是一種綜合性能優(yōu)良的新型陶瓷材料,具有優(yōu)良的熱傳導(dǎo)性,可靠的電絕緣性,低的介電常數(shù)和介電損耗,無(wú)毒以及與硅相匹配的熱膨脹系數(shù)等一系列優(yōu)良特性,被認(rèn)為是新一代高集成度半導(dǎo)體基片和電子器件的理想封裝材料。
除了封裝基板材料,氮化鋁陶瓷還有這些應(yīng)用隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,AlN作為半導(dǎo)體材料中的主要代表,其所展現(xiàn)出的優(yōu)異的性能使得其受到極大的重視。由于AlN在自然與科技方面有著許多潛在的優(yōu)良性能,AlN薄膜也因此備受現(xiàn)代科研工作者的青睞。
氮化鋁薄膜有何特殊之處,如何制備,又有何妙用?AlN材料具有很高的直接帶隙(6.2eV),是重要的藍(lán)光和紫外發(fā)光材料;AlN介電常數(shù)小,具有良好熱導(dǎo)率、高電阻率和擊穿場(chǎng)強(qiáng)。
尚屬起步階段的AlN半導(dǎo)體,應(yīng)用前景如何陶瓷基板具有熱導(dǎo)率高、耐熱性好、熱膨脹系數(shù)低、機(jī)械強(qiáng)度高、絕緣性好、耐腐蝕、抗輻射等特點(diǎn),在電子器件封裝中得到廣泛應(yīng)用。
氮化硅PK氮化鋁,誰(shuí)才是最具有發(fā)展前途的基板材料,你站哪一邊?企業(yè)布局
近日,國(guó)內(nèi)氮化鋁陶瓷基板龍頭企業(yè)福建華清電子材料科技有限公司獲得1.8億元投資,加快氮化鋁陶瓷基板、陶瓷金屬化產(chǎn)品研發(fā)生產(chǎn)。
閱讀正文旭光股份( 600353 ),現(xiàn)價(jià)不到6塊,總市值才30億,而且它具有很多題材。這些題材都是實(shí)打?qū)嵉?,具有軍工、華為電視、5G、芯片、一帶一路、智能電網(wǎng)、4K.它的客戶遍布華為、中興、國(guó)家電網(wǎng)、軌道交通等業(yè)內(nèi)優(yōu)質(zhì)企業(yè)。
閱讀正文旭光電子4月11日晚發(fā)布2022年年報(bào),公司2022年實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入11.41億元,同比增長(zhǎng)13.36%;實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤(rùn)1億元,同比增長(zhǎng)72.76%。
閱讀正文2023徐州(北京)投資洽談會(huì)在北京舉行,本次活動(dòng)33個(gè)項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)簽約,協(xié)議投資總額達(dá)258.8億元。
閱讀正文高性能氮化鋁陶瓷材料項(xiàng)目源于清華大學(xué)國(guó)家863科技成果,建成后年產(chǎn)氮化鋁基板720萬(wàn)片,氮化硅基板300萬(wàn)片。
閱讀正文1月22日,旭光電子發(fā)布公告擬募資5.5億元用于氮化鋁、氮化硅陶瓷基板、高溫共燒多層基板等建設(shè)。
閱讀正文解決方案
該設(shè)備可用于陶瓷胚體和制品的反應(yīng)燒結(jié)、無(wú)壓燒結(jié)、重結(jié)晶燒結(jié)等,也可用于陶瓷粉體材料的制備?!畈捎庙斄⒖萍紝俪邷?、大電流引電技術(shù),能在高溫條件下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定使用;☆采用特殊的高溫紅外測(cè)量技術(shù),控溫準(zhǔn)確,誤差??;☆配置專屬密封馬弗,產(chǎn)品產(chǎn)生的硅蒸汽等副產(chǎn)物對(duì)加熱器及絕緣材料等的污染?。弧畈捎脤S梦矚馓?/p>閱讀正文
產(chǎn)品參數(shù)產(chǎn)品納米氮化鋁(AlN)產(chǎn)品型號(hào)ZH-AlN-01平均粒度mm-um-50nm產(chǎn)品純度99.9%比表面積42.162m2/g理論密度3.050g/cm3松裝密度1.840g/cm3熔點(diǎn)1100℃沸點(diǎn)1800℃晶型近球形外觀米白色蓬松粉末分散性氣相法制備,易于分散液體與高分子材料中備注產(chǎn)品粒度
閱讀正文氮化物陶瓷料漿閉式循環(huán)噴霧干燥機(jī)待干燥物料:氮化物陶瓷料漿成型劑:PEG+PVB研磨劑:酒精循環(huán)氣體:氮?dú)饬蠞{固形物含量:40wt%-50wt%料漿溫度:常溫干燥塔進(jìn)風(fēng)溫度:170-220℃干燥塔出風(fēng)溫度:80-90℃產(chǎn)品殘余酒精含量:≤0.5%酒精蒸發(fā)能力:≥25kg/h加熱方式:防爆電加熱霧化方
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