電子束分析設(shè)備16"球型UHV超高真空腔室

國內(nèi)外學(xué)術(shù)研究機(jī)構(gòu)單位, 各式UHV超高真空設(shè)備依客戶需求自定義尺寸的設(shè)計(jì)圖稿來制作。

電子束分析設(shè)備16"球型超高真空腔室

材質(zhì)：304S.S.

表面處理：電解拋光

規(guī)格：16"球型UHV超高真空腔室

泄漏率<2 x 10-10mbar.l/sec

工作壓力<5 x10-10 torr

Flange 角度對心誤差 < 0.5?

高科技真空系統(tǒng)環(huán)境制程的開發(fā)初期都需要在實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行許多測試，Htc日揚(yáng)真空制造之客制化真空腔體裝配于多種實(shí)驗(yàn)設(shè)備，為研究者提供了適當(dāng)?shù)墓ぞ咭赃M(jìn)行各項(xiàng)實(shí)驗(yàn)。 

Htc日揚(yáng)真空已建立的實(shí)績包括各種實(shí)驗(yàn)用真空鍍膜腔體、太空腔仿真裝置、表面分析系統(tǒng)、光學(xué)量測系統(tǒng)及氣體檢測設(shè)備等，另外也承制了國內(nèi)外同步輻射中心超高真空系統(tǒng)的腔體、真空鍍膜機(jī)、蒸發(fā)鍍膜機(jī)、磁控濺射鍍膜機(jī)、離子鍍膜機(jī)和等離子化學(xué)沉積真空裝置學(xué)術(shù)研究。。