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柔性電路板在線式等離子表面處理機(jī)：誠(chéng)峰智造

真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-2L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號(hào)（Model）

CRF-VPO-2L-S

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中頻電源功率（RF Power）

1000W/40KHz

容量（Volume ）

10L(Option)

層數(shù)（Electrode of plies ）

2(Option)

腔體規(guī)格（Area）

220(W)*230(D)*230(H)

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選：Ar、N2、CF4、O2

產(chǎn)品概述

設(shè)備參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

超大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，精準(zhǔn)的控制設(shè)備運(yùn)行；

可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求；保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制；

高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

應(yīng)用范圍

真空等離子清洗機(jī)適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污、軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板補(bǔ)強(qiáng)前活化。半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗；硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

電漿是物質(zhì)的第四態(tài)，是一種獨(dú)特的處理介質(zhì)，用于處理和粗化表面。電漿表面處理設(shè)備具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)，它與表面相互作用的特點(diǎn)和適用范圍如下。

電漿表面處理設(shè)備具有表面處理的優(yōu)點(diǎn)，工藝的靈活性和一致性，低成本，使用方便，用戶和環(huán)境安全。根據(jù)所用的加工氣體和材料類型，電漿表面會(huì)發(fā)生不同的相互作用。

各種等離子體處理氣體可用于化學(xué)和機(jī)械污染物的去除，氧化，激活，交聯(lián)和沉積。

電漿表面處理設(shè)備性能：

什么是電漿，它是如何產(chǎn)生和維持的，以及它是如何與物質(zhì)表面相互作用的。電漿中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性顆粒作用于固體樣品表面，不僅能去除表面原有的污染物和雜質(zhì)，還能起到腐蝕作用，使樣品表面變粗糙，形成許多細(xì)小凹陷，使樣品的比表面積增大。改善固體表面的潤(rùn)濕性。

電漿成形利用電容板或磁感應(yīng)在氣體區(qū)域產(chǎn)生RF振蕩電場(chǎng)。

電子的電場(chǎng)加速以及在足夠低的壓力下對(duì)中性原子或場(chǎng)線的彈性散射的聯(lián)合作用，使電子受熱。中性氣體中的電子獲得超過電離閾的動(dòng)能時(shí)，電子的中性碰撞導(dǎo)致進(jìn)一步電離，從而產(chǎn)生額外的自由電子，這些電子被依次加熱。

電漿表面的相互作用：

電漿表面處理設(shè)備工藝中的電子和離子的能量足以電離中性原子，使分子分離，形成反應(yīng)性自由基，使原子或分子產(chǎn)生激發(fā)態(tài)，并對(duì)表面進(jìn)行局部加熱。

取決于工藝氣體和工藝參數(shù)，等離子體可通過機(jī)械作用、電子和離子動(dòng)態(tài)遷移與表面的腐蝕效應(yīng)，以及化學(xué)反應(yīng)功，使自由基與表面發(fā)生反應(yīng)。

一般而言，等離子體可以通過幾種機(jī)制作用并清洗表面：蝕刻、活化、沉積、交聯(lián)和接枝等離子體表面。

電漿表面處理設(shè)備優(yōu)勢(shì)：

作用于材料表面作用：電漿等離子體處理只影響材料的近表面，對(duì)材料的塊狀性質(zhì)沒有影響。與許多濕洗工藝不同的是，電漿等離子清洗不會(huì)留下有機(jī)殘留物；在適當(dāng)?shù)臈l件下，等離子清洗可完全除去污染物，從而產(chǎn)生“原子潔凈”的表面。不像水洗溶液，等離子體不受表面張力的限制，能清潔粗糙、多孔或不平整的表面。在近環(huán)境溫度下進(jìn)行等離子體處理，可減少對(duì)熱敏材料的破壞。

電漿表面處理設(shè)備工藝具有一定的靈活性和一致性，根據(jù)工藝氣體和使用情況，等離子處理可用于表面特性的清潔，激活，清洗和改性變化。等離子體會(huì)與多種材料發(fā)生反應(yīng)，因此，等離子體還能處理由不同材料制成的元件。

1、價(jià)格低廉/容易使用

2、電漿處理效率高，處理時(shí)間短，無干燥階段，能耗低。

3、等離子體處理可以幫助避免熱損失和溶劑損壞造成的過程損失。

4、等離子體處理比化學(xué)或機(jī)械加工更容易使用和維護(hù)，而且無需復(fù)雜的化學(xué)分析或維護(hù)。

5、電漿處理通常不需要溶劑，也不需要不斷購(gòu)買和加工溶劑。

6、采用電漿等離子工藝，提高了使用者和環(huán)境的安全性。

7、等離子技術(shù)可消除工人與危險(xiǎn)化學(xué)品接觸的安全風(fēng)險(xiǎn)。

8、電漿等離子體處理在接近環(huán)境溫度條件下進(jìn)行，不會(huì)產(chǎn)生安全問題。

9、可以處理復(fù)雜幾何形狀的三維零件。