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MicroMaster 激光直寫光刻機
MicroMaster 是一款多功能的紫外激光寫入器，具有高精度的組件，專為用戶在感光層上設(shè)計創(chuàng)建**自由度的微結(jié)構(gòu)。MicroMaster 是一個完整的操作系統(tǒng)。它擁有405納米波長光學模塊，能夠在光阻層中寫入*小0.8微米的結(jié)構(gòu)。這個用戶友好的工具支持高達4095級的灰度或純二進制模式，并允許3D光學結(jié)構(gòu)，表面結(jié)構(gòu)以及掩模項目。 激光控制的實時自動對焦和激光強度控制，確保整個曝光過程中的高質(zhì)量成像。MicroMaster 廣泛應用于半導體光刻， LED芯片， 微流控芯片， 微納結(jié)構(gòu)， 灰度光刻， 三維加工， 全息影像等多個領(lǐng)域。
MicroMaster 無掩模激光直寫系統(tǒng)性能規(guī)格
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