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化學(xué)氣相沉積爐
化學(xué)氣相沉積爐

參考價格

面議

型號

化學(xué)氣相沉積爐

品牌

湖南烯瑞

產(chǎn)地

湖南

樣本

暫無
湖南烯瑞自動化設(shè)備有限公司

會員

|

第2年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    真空
  • 溫控精度:

    -
  • 最高溫度:

    -
  • 額定溫度:

    -
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用途:可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積,如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理.

 

特點:

●采用先進的控制技術(shù),能精密控制氣體的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍??;

●采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強;

●采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

●對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進行有效處理;

●采用防腐蝕真空機組設(shè)計,持續(xù)工作時間長,維修率低。

 

沉積爐主要配置

●爐門:絲杠升降//液壓升降/;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊

●爐殼:全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

●爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈

●加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨

●工藝氣路系統(tǒng):體積/質(zhì)量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產(chǎn)

●真空泵和真空計---進口/國產(chǎn)

●人機界面:觸摸屏/工控機

●電器元件:正泰/施耐德/西門子

參數(shù)\型號

JR-CJL-Φ30×50

JR-CJL-Φ60×80

JR-CJL-Φ80×120

JR-CJL-Φ100×150

JR-CJL-Φ110×200

容積(L)

35

226

602

1177

1899

**溫度(℃)

1500

1500

1500

1500

1500

工作區(qū)尺寸D×H(mm)

Φ300×500

Φ600×800

Φ800×1200

Φ1000×1500

Φ1100×2000

控溫方式

日本島電溫控儀

加熱方式

電阻加熱

真空系統(tǒng)

抗污泵或滑閥泵+羅茨泵

燒結(jié)氣氛

碳氫氣體等

額定電源電壓(V)

380

額定加熱電壓(V)

根據(jù)設(shè)計確定,配置爐前變壓器

真空極限度(Pa)

6X10ˉ2(真空冷態(tài))


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