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微納器件光譜響應(yīng)度測試系統(tǒng)
微納器件光譜響應(yīng)度測試系統(tǒng)

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北京

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北京卓立漢光儀器有限公司

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DSR300系列微納器件光譜響應(yīng)度測試系統(tǒng)是一款專用于低微材料光電測試的系統(tǒng)。其功能全面,提供多種重要參數(shù)測試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描,光電流掃描以及光響應(yīng)速率測試。40μm探測光斑,實(shí)現(xiàn)百微米級探測器的*對光譜祥響應(yīng)度測量。超高穩(wěn)定性光源支持長時間的連續(xù)測試,豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計(jì)可擴(kuò)展多路光源,例如超連續(xù)白光激光器,皮秒脈沖激光器,半導(dǎo)體激光器,鹵素?zé)簦療舻?,滿足不同探測器測試功能的要求。是微納器件研究的優(yōu)選。

功能:

? 光譜響應(yīng)度

? 外量子效率

? 單色光/變功率IV;

? 不同輻照度IT曲線(分辨率200ms)

? 不同偏壓下的IT曲線

? LBIC,Mapping

? 線性度測試

? 響應(yīng)速率測試

微納器件光譜響應(yīng)度測試系統(tǒng)主要技術(shù)參數(shù)

顯微鏡頭

標(biāo)配:10倍超長工作距離物鏡,

工作距離大于17mm

NA值:0.42

光譜范圍:350-800nm

選配:

1,50倍超長工作距離消色差物鏡,

工作距離大于17mm

NA值:0.42

光譜范圍:480-1800nm

2,15倍紫外物鏡,

工作距離大于8.5mm

NA值:0.32

光譜范圍:250-700nm

3,50倍超長工作距離紫外物鏡,

工作距離大于12mm

NA值:0.42

光譜范圍:240-500nm

4,40倍反射式長工作距離

工作距離大于7.8mm

NA值:0.5

光譜范圍:200nm-20um

光斑中心空心

光源

選配光源

1、半導(dǎo)體激光器

波長:405nm,532nm,633nm,808nm,980nm可選

不穩(wěn)定性:<1%

2、皮秒脈沖激光器

波長:375nm,405nm,488nm,785nm,976nm可選

脈寬:100ps

頻率:1-20M Hz

3、氙燈光源

光譜范圍:250nm-1800nm

不穩(wěn)定性:<1%

4、超連續(xù)白光激光光源

光譜范圍:400-2400nm

頻率:0.01MHz-200MHz

脈寬:100ps

光譜儀

焦距:300mm;

相對孔徑:f/3.9;

光學(xué)結(jié)構(gòu):C-T;

光譜儀分辨率:0.1nm;

倒線色散:2.7nm;

波長準(zhǔn)確度:±0.2nm

波長重復(fù)性:±0.1nm

掃描步距:0.005nm

狹縫規(guī)格:圓孔抽拉式固定狹縫,孔徑:0.2mm,0.5mm,1mm,1.5mm,2mm,2.5mm,3mm;

三光柵塔臺;

光柵配置:1-120-300、1-060-500、1-030-1250,光柵尺寸:68×68mm

6檔自動濾光片輪,光譜范圍200-2000nm;

內(nèi)置電動機(jī)械快門,軟件控制快門開關(guān);

雜散光抑制比:10-5

探針臺配置

4個探針座,配20/10微米針尖探針

2米三同軸電纜,漏電流小于1pA。

真空吸附樣品臺。

探針座:XYZ方向12mm調(diào)節(jié)行程,0.75um調(diào)節(jié)分辨率,

0-30°調(diào)節(jié)探針角度。

LBIC Maapping

XY方向行程50mm,分辨率5um。

數(shù)釆

v 鎖相放大器

斬波頻率:20Hz~1KHz;

頻率6位顯示,2.4英寸屏,320×240液晶顯示;

電壓輸入模式:單端輸入或差分輸入;

電壓、電流兩種輸入模式;

滿量程靈敏度:1nV至1V;

電流輸入增益:106或108V/A;

動態(tài)儲備:>100dB;

時間常數(shù)范圍:10μs至3ks;

v keithley2612B

量程:100nA/1A

*小信號1nA

本地噪音:100pa

分辨率100fa

通道數(shù):2

v keithley2636B

量程:1nA/1A

*小信號10pA

本地噪音:1pa

分辨率10fa

通道數(shù):2

制冷樣品臺

溫度范圍:-196℃-600℃,(-196℃需要選擇專用冷卻系統(tǒng))

全程溫度精度/溫度性:0.1℃/<0.01℃

光孔直徑:2.4mm

樣品區(qū)域面積:直徑22mm

兩個樣品探針,1個LEMO接頭(可增加至1探針)

工作距離:4.5-12.5mm

氣密樣品腔室,可充入保護(hù)性氣體

獨(dú)立溫度控制

響應(yīng)速率測試

示波器型號:MDO32

模擬帶寬100MHz

采樣率5GS/s

記錄長度10M

時間范圍:uS-S,需要配合調(diào)制激光器使用

時間范圍:10nS-S,需要配合皮秒脈沖激光器使用

三維可調(diào)高穩(wěn)定探針臺結(jié)構(gòu),方便樣品位置調(diào)節(jié)。

內(nèi)置三路半導(dǎo)體激光器或者兩路光纖激光器,外置一路激光光路。

可以引入可調(diào)單色光源,進(jìn)行全光譜范圍的光譜響應(yīng)度測試。

測試功能曲線:

40um光斑@550nm@50倍物鏡200um光纖 70um光斑@550nm@50倍物鏡400um光纖

5um光斑@375nm皮秒激光器@40倍物鏡

紫外增強(qiáng)氙燈和EQ99光源的單色光能量曲線,使用40倍反射式物鏡,300mm焦距光譜儀,光譜儀使用1200刻線300nm閃耀光柵,光斑直徑大小80um。

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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