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3D形貌測試儀鷹眼系列
3D形貌測試儀鷹眼系列

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產(chǎn)地

北京

樣本

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北京卓立漢光儀器有限公司

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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的電子技術(shù)工藝的發(fā)展,電子產(chǎn)品都往小型化,輕薄化發(fā)展。iWatch的一經(jīng)推出,穿戴電子產(chǎn)品成為了一個新的電子設(shè)備應(yīng)用潮流。隨著電子產(chǎn)品的小型化,器件體積越做越小,空間就緊湊起來,這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰(zhàn)。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸,現(xiàn)在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米級別,這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產(chǎn)品質(zhì)。

卓立漢光的3D形貌測試儀應(yīng)運而生,這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術(shù),能夠高精度還原產(chǎn)品的3D結(jié)構(gòu),對肉眼不可見的結(jié)構(gòu)缺陷都能準(zhǔn)確檢測。因為具有較快的掃描速度,微米級別的精度和超強的穩(wěn)定性,一經(jīng)推出立馬成為精密生產(chǎn)商的新寵。在精密、精密點膠、3D玻璃,半導(dǎo)體缺陷檢測和多層光學(xué)薄膜厚度檢測,就是這款產(chǎn)品的主要應(yīng)用領(lǐng)域。

卓立漢光長期專注于光譜技術(shù)的應(yīng)用研發(fā),3D形貌測試儀就是常年實踐積累的成果(利號:CN207556477U)。該項技術(shù),具有以下優(yōu)點:

技術(shù)

線性共焦光譜技術(shù)

點測技術(shù)

激光掃描

3D相機

速度

1000 line/s

1000 point/s

1000 line/s

多角度拍照快

掃描寬度

6.5mm/20mm

可選

分辨率

1um

1um

30um

100um

界面層數(shù)

多層

多層

表面

表面

建模

數(shù)據(jù)量

鷹眼系列3D形貌測試儀主要特點有:

1、非接觸性測量;

2、線掃描,高效率;

3、微米級精度;

4、滿足透明面及高對比度表面測試;

5、支持二次開發(fā);

鷹眼系列3D形貌測試儀主要應(yīng)用

1、精密部件3D尺寸及段差測試;

2、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試;

3、3D玻璃缺陷檢測;

4、半導(dǎo)體表面缺陷測試;

5、多層薄膜厚度測試;

3D形貌測試儀產(chǎn)品型號及規(guī)格

HawkEye-1300

HawkEye-5000

方式

共焦光譜

共焦光譜

精度

1um

8um

重復(fù)性

±0.3um

±4um

線掃寬度

6.5mm

20mm

Z軸量程范圍

1.3mm

5mm

掃描速度

300line/s(Max:1000line/s)

300line/s(max:1000line/s)

重量

5Kg

8Kg

尺寸

460X300X140mm

460X300X140mm

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10分

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10分

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10分

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