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感謝您購買我公司的系列分子泵產(chǎn)品。該產(chǎn)品屬于高真空和超高真空的真空獲得設(shè)備。

在使用前請詳細閱讀和理解本說明書的各項內(nèi)容，以便正確使用。不正確的使用，將可能造成運行不正常、設(shè)備故障、壽命降低，甚至危及人身安全。泵的操作人員必須仔細閱讀并嚴格遵守本說明書中的條款。由于用戶沒有仔細閱讀說明書、或未按照使用說明書的要求操作而造成的任何傷害和損失，我公司將不負擔任何責任。

使用本資料后，務(wù)必進行妥善保管，以備使用。

凡購買我公司生產(chǎn)的分子泵，從發(fā)貨之日起，用戶憑保修單可保修一年。外地用戶可延長一個月。在保修期內(nèi)不收修理費，如需更換零件，一般核收半費，不超過半年可免費。

凡屬下列情況之一的，不予保修：

1) 用戶未經(jīng)授權(quán)對產(chǎn)品私自拆卸；

2) 用戶保管或使用不當（如雨淋、曝曬、進入雜物、撞擊、強腐蝕環(huán)境、強放射性環(huán)境、強磁場環(huán)境等）；

3) 屬于用戶其他原因造成的損壞。

本說明書僅作為信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本說明書與實際產(chǎn)品有所出入，本擁有*終解釋權(quán)。由本說明書引起、產(chǎn)生和包含的知識產(chǎn)權(quán)均屬本公司所有1. 安全注意事項

在安裝、運行、操作、維護檢查前，必須熟悉本說明書內(nèi)容，以保證正確使用。使用前也必須熟知一切有關(guān)安全注意事項。

1) 分子泵必須與其專用電源配套，同時與分子泵配套電源必須良好接地。

否則可能發(fā)生產(chǎn)品損壞、人員受傷、觸電或干擾。

2) 分子泵及配套電源的維修必須返回公司由專業(yè)人員進行。

否則可能發(fā)生產(chǎn)品損壞、人員受傷或觸電事故。

3) 分子泵的日常維護必須確認分子泵已停止轉(zhuǎn)動、電源已斷開、泵內(nèi)氣壓已經(jīng)與大氣平衡后方可進行換油、查水等日常維護。

否則可能發(fā)生產(chǎn)品損壞、人員受傷或觸電事故。

4) 濕手不能操作開關(guān)。

否則可能發(fā)生觸電事故。

5) 不能帶電接觸電源后面板的接線及端子。

否則可能發(fā)生產(chǎn)品損壞或觸電事故。

6) 分子泵運轉(zhuǎn)過程中，不得對其進行猛烈沖撞或震動。

否則可能發(fā)生碎泵事故，并有可能造成其他損壞。

7) 分子泵啟動前必須檢查是否滿足分子泵啟動要求。

否則可能引起故障或造成分子泵損壞。

8) 分子泵電源必須斷開電源15分鐘以上，才能對其進行檢查或接線。

否則可能發(fā)生觸電事故。

2. 使用前有關(guān)事項

2.1 收貨檢查

檢查收貨的品名和數(shù)量是否和發(fā)貨數(shù)量一致，包裝箱有沒有破損。

2.2 搬運

搬運時必須提取包裝箱的底部，輕拿輕放，否則可能造成分子泵受損。對于較大的分子泵可用叉車進行搬運，搬運時注意不要碰撞底盤上的水、電、前級口的接口零部件，以防撞擊后產(chǎn)生漏氣或損壞。2.3 保管

2.3.1 短期保管

短期保管的環(huán)境條件

周圍溫度：-10～ +50℃

相對濕度：5～85%

環(huán)境：不要放在會發(fā)生溫度急劇變化而結(jié)露和冰凍的地方。不能受陽光直射，不能放置于有腐蝕性氣體、可燃氣體、油霧、蒸汽或潮濕的環(huán)境中，不得在震動過大的環(huán)境中。

2.3.2 長期保管

購置分子泵后長期不使用的保管方法，隨存放環(huán)境而不同。

一般按如下所述保管

首先滿足短時保管要求但是保管期超三個月時，要求周圍溫度不得高于30℃，這

是因為考慮到電器元件不通電存放，溫度高時其特性易變壞。

為了防止潮氣影響，應(yīng)嚴格封存，還要在封存時放入干燥劑，使封裝內(nèi)部的相對

濕度約在70%以下。

3. 分子泵應(yīng)用簡介

分子泵是一種獲得高真空和超高真空機械式真空泵，其分為渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵三大類。渦輪分子泵是通過高速旋轉(zhuǎn)的多級渦輪轉(zhuǎn)子葉片和靜止渦輪葉片的組合進行抽氣的，在分子流區(qū)域內(nèi)對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能；牽引分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子表面帶動氣體分子沿著一定形狀的槽隙運動，從而實現(xiàn)壓縮氣體，其在分子流到混合流之間有很高的壓縮比，從而獲得所需的真空性能；復(fù)合分子泵結(jié)合了二者的優(yōu)點，利用了兩種結(jié)構(gòu)的有機結(jié)合和合理過渡，實現(xiàn)了分子流、混合流的高壓縮比，從而獲得所需的真空性能。分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng)、操作簡單、使用方便。由于對分子量大的氣體具有很高的壓縮比，因此在運轉(zhuǎn)過程中，高真空區(qū)域不會受到油蒸汽的污染，該泵不需要冷阱和油擋板，即可獲得清潔的高真空和超高真空環(huán)境。因此，它廣泛應(yīng)用于如下工業(yè)生產(chǎn)和探索研究的各個領(lǐng)域。

物理表面分析儀器的真空獲得；

加速器技術(shù)的真空獲得；

等離子體技術(shù)的真空獲得；

航空航天的模擬環(huán)境的真空獲得；

電子、電器元件制造的真空獲得；

各種表面鍍膜的真空獲得等。

4. 分子泵型號、配件、適配電源

4.1 分子泵型號說明

我公司生產(chǎn)的分子泵的型號使用一串字母數(shù)字和符號共同組成，具體說明如下：

-□/□□

特殊代號

額定抽速（L/s）

氣體入口口徑

類型代號

說明：

類型代號： FB——渦輪分子泵；

FF——復(fù)合分子泵。

特殊代號： 無字符——油潤滑水冷卻分子泵

F——風冷分子泵

Z——脂潤滑分子泵

N——耐腐蝕分子泵

4.2 分子泵適配電源

每種型號分子泵必須配用其專用電源，否則可能造成分子泵損壞。若由此引起的損失本公司概不負責。適配電源見表1。

表1 分子泵適配電源表

序號

分子泵型號

適配電源

1

FF-160/620、FF-160/620F、FF-160/620N

FK-620或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ

2

FF-160/750、FF-160/750Z

FK-750或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ

3

FF-200/1200

FK-1200或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ

4

FB-250/1600、FF-250/1600、FF-250/2000

FK-1600或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ

5

FB-400/4200

FK-4200或FK-Ⅰ、Ⅱ、

XC 系列分子泵使用說明書

5

4.3分子泵、配件及資料

表2 分子泵、配件及資料表

4.4 分子泵選購件

表3 選購配件表

序號名 稱單位規(guī)格數(shù)量備 注

FF-160/750專用

FF-200/1200專用

FB-250/1600專用

2 螺栓、螺母、墊圈套M8×55 按型號確定CF高真空接口專用

3 CF銅墊圈個按型號訂1

4 排氣口盲板、卡箍套KF40 1

4 FF-160/750中LF接口分子泵

5 FF-200/1200中LF接口分子泵

6 FB-250/1600中LF接口分子泵

10 FB-400/4200

1

用戶可根據(jù)

使用條件的

不同，選擇

的*少用量

5 LF專用卡鉗個

1 分子泵泵體加熱器套

注：用戶可以根據(jù)自己的使用情況，如：要獲得超高及以上真空、泵殼必須烘烤等，

另外單獨選購配件。

序 號名 稱單位數(shù) 量備 注

1 分子泵臺1

2 防護網(wǎng)個1

3 使用說明書份1

4 檢驗合格證份1

5 保修卡份1

6 分子泵潤滑油瓶1

7 O型密封圈個1 膠圈密封LF接口專用

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6

5. 分子泵技術(shù)說明及簡圖

分子泵技術(shù)說明包括技術(shù)數(shù)據(jù)、抽速曲線、壓縮比曲線、安裝簡圖、排氣口簡圖五部分。

5.1 分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)

表4 分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)表

分子泵型號FB-400/4200

進氣口法蘭LF100 CF100 LF160 CF160 LF160 CF160 LF160 CF160 LF200 CF200 LF200 CF200 LF250 CF250 LF250 CF250 LF250 CF250 LF400

抽氣速率(l/s) 180 180 4200升/秒

N2 108

H2 5?102

極限壓強pa ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤6?10-6 ≤6?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤1?10-6 ≤1?10-7 ≤8?10-7

排氣口法蘭LF100

啟動時間(min) ≤18分鐘

額定轉(zhuǎn)速(rpm) 16200轉(zhuǎn)/分

振動值(mm) ≤0.2mm

建議采用前級泵30升/秒

充油量320ml

安裝方式豎直±5°

冷卻方式及溫度水冷、水溫?25℃

泵體烘烤溫度<120℃

環(huán)境溫度5℃∽40℃

重量(kg) 7 8 21.4/24 22/24.6 21 21.6 17.6 18.2 31 32 31 32 39 42 35/37 38/40 36 39 108kg

FF-160/750

FB-250/1600

FF-250/1600

壓縮比

FF-200/1200

750升/秒1200升/秒1600升/秒

N2 109

H2 5?103

N2 109

H2 5?103

N2 108

H2 5?102

FF-160/620、

、620F、620N

620升/秒

N2 109

≤0.1mm

8升/秒12升/秒15升/秒

110ml

KF40 KF40

≤6分鐘≤9分鐘

36000轉(zhuǎn)/分24000轉(zhuǎn)/分

KF40

≤7分鐘

27000轉(zhuǎn)/分

水冷、水溫?25℃

<120℃

H2 5?103

KF40

≤6分鐘

30000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

5℃∽40℃ 5℃∽40℃

豎直±5° 豎直±5°

5℃∽40℃

水冷、水溫?25℃ 水冷、水溫?25℃ 水冷、水溫?25℃

<120℃ <120℃ <120℃

豎直±5°

5℃∽40℃

≤0.1mm ≤0.1mm

110ml 110ml

FF-250/2000

2000升/秒

N2 109

H2 5?103

KF40

5℃∽40℃

FF-200/1300

1300升/秒

N2 109

H2 5?103

KF40

≤8分鐘

30000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

12升/秒

110ml

豎直±5°

水冷、水溫?25℃

<120℃

5℃∽40℃

<120℃

8升/秒

110ml

豎直±5°

≤0.1mm

4升/秒

無

豎直±5°

水冷、水溫?25℃

<120℃

5℃∽40℃

FF-160/750Z

750升/秒

N2 109

H2 5?103

KF40

≤6分鐘

36000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

8升/秒

無

任意角度

水冷、水溫?25℃

≤10分鐘

27000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

15升/秒

110ml

<120℃

5℃∽25℃

風冷

<120℃

5℃∽25℃

FF-250/1800

、1800F

1800升/秒

N2 109

H2 5?103

KF40

≤9分鐘

24000轉(zhuǎn)/分

≤0.1mm

15升/秒

110ml

豎直±5°

水冷、水溫?25℃

FF-100/180Z

N2 109

H2 5?103

KF16

任意角度

≤4分鐘

48000轉(zhuǎn)/分

注：1.分子泵極限壓強的獲得，是按國家標準規(guī)定的測試規(guī)程，對泵體和測試罩進行充分烘烤(48 小時)，在測試罩內(nèi)得到的*低壓強，即測試罩內(nèi)所有殘余氣體壓強的總和;

2.分子泵的極限壓強與其所使用的前級泵的工作壓強、有效抽速及分子泵高真空端的進氣口法蘭密封形式有關(guān);

3.防腐分子泵充保護氣體為φ 6 的快插接頭，用φ 6×1.2 的PU 管連接，不用時可直接用專用堵堵上，風冷分子泵的環(huán)境溫度要求：5℃～25℃。

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7

5.2 抽速曲線圖

10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102

0

200

400

600

800

抽速(L/s)

壓強(Pa)

圖1 FF-160/750 對氮氣抽速曲線

圖2 FF-200/1200 對氮氣抽速曲線

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8

10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102

0

200

400

600

800

1000

1200

1400

1600

1800

抽速(L/s)

壓強(Pa)

圖3 FB-250/1600 對氮氣抽速曲線

10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102

0

500

1000

1500

2000

2500

3000

3500

4000

4500

5000

抽速(L/s)

壓強(Pa)

圖4 FB-400/4200 對氮氣抽速曲線

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5.3 壓縮比曲線圖

10-1 100 101 102 103

102

103

104

105

106

107

108

109

1010

壓縮比

前級壓強(Pa)

圖5 FF-160/620、FF-160/750、FF-200/1200、FF-250/2000 對氮氣及氫氣的壓縮比

曲線

圖6 FB-250/1600、FB-400/4200 對氮氣及氫氣的壓縮比曲線

10-2 10-1 100 101 102

101

102

103

104

105

106

107

108

109

壓縮比

前級壓強(Pa)

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5.4分子泵安裝簡圖

圖7、FF-160/750Z安裝簡圖

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11

圖8、FF-160/620F安裝簡圖

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圖9、FF-160/620、FF-160/620F、FF-160/620N、FF-160/750安裝簡圖

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圖10 FF-200/1200、FF-200/1300安裝簡圖

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圖11、FB-250/1600、FF-250/1600安裝簡圖

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15

圖12、FB-400/4200安裝簡圖

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5.5 分子泵排氣口簡圖

圖13 KF40 接口

圖14 KF50 接口

圖15 LF100 接口

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6.安裝

6.1 注意事項

分子泵不能用于抽除液體或者帶有粉塵、固體顆粒的氣體；

除了耐腐蝕型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蝕性氣體，耐腐蝕型泵在抽除腐蝕性氣體時，必須給分子泵的保護氣體入口連續(xù)通惰性保護氣體如氮氣等，且泵油使用我公司提供的專用耐腐蝕分子泵油。

確認分子泵與電源相配套。每種泵都只能使用本說明書中規(guī)定的與之匹配的電源供電，否則造成的損失，本公司概不負責。

確認安裝環(huán)境必須滿足如下條件：

1) 泵體表面徑向和軸向磁場強度均不得大于3mT(30Gs)；

2) 環(huán)境放射性強度<105rad；

3) 環(huán)境溫度為5~40℃；

4) 空氣相對濕度：≤85%；

5) 電壓：220±22V，頻率：50±1Hz；

6) 海拔：≤3000米。

安裝前應(yīng)檢查分子泵運輸中是否被損壞：打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動靈活，無異?，F(xiàn)象。若存在異?，F(xiàn)象，應(yīng)及時通知我公司，不得自行處理，否則由此帶來損失我公司概不負責。

不允許將分子泵長期置于大氣狀態(tài)下存放，在打開進氣口和排氣口盲板時，應(yīng)注意真空衛(wèi)生要求，嚴禁雜物、灰塵等落入泵內(nèi)。

安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。

6.2 連接安裝

6.2.1真空聯(lián)接

分子泵的進氣口和排氣口法蘭采用國際標準見表4分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)表，尺寸見分子泵安裝簡圖和分子泵排氣口簡圖。注意：法蘭密封面不得有劃痕、刀口不得磕碰。

泵的聯(lián)接可利用進氣口法蘭吊裝或?qū)⒈弥糜诨矫嫔希獸-400/4200不建議吊裝，若一定要吊裝必須用活套法蘭（訂貨時單獨訂購）固定。

分子泵的進氣口法蘭通過金屬波紋管與系統(tǒng)聯(lián)接時，分子泵必須固定。

為保護分子泵轉(zhuǎn)子，防止外界物質(zhì)落入泵內(nèi)，可在泵口裝上防護網(wǎng)，但裝入此網(wǎng)后，抽速約降低15％左右。

前級泵與分子泵的聯(lián)接應(yīng)采用具有減震效應(yīng)的金屬波紋管，管路上應(yīng)裝有隔斷放氣閥，作為停機時對前級機械泵放氣。放氣閥可選用手動閥或電磁閥。放氣過程的操作請參照停機部分。為保護泵體真空衛(wèi)生，防止潮濕，放氣時，可通氮氣或干燥空氣。

注意??！

分子泵吊裝時，氣體入口與真空腔體之間的連接管道不得長于200mm，否則可能產(chǎn)生焊縫拉裂、振動放大效應(yīng)，對真空系統(tǒng)和分子泵產(chǎn)生危害；

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法蘭刀口不得磕碰劃傷、密封面不得有徑向劃痕，否則會降低抽氣效果。

6.2.2 冷卻水連接

采用清潔低沉淀的自來水，也可采用冷卻水系統(tǒng)。對于高沉淀或腐蝕性水建議采用循環(huán)水系統(tǒng)，以防水管堵塞或腐蝕。冷卻水流量不應(yīng)低于1升/分，冷卻水入口壓力為0.1～0.2MPa，溫度不應(yīng)高于25℃，溫度較高時，應(yīng)加大冷卻水流量。水嘴所接的水管為φ10x1mm， 分子泵的工作環(huán)境溫度為不大于40℃。

6.2.3 加入潤滑油

該泵出廠時為了運輸中的安全，已把潤滑油卸去。

注意?。?/p>

用戶在初次使用分子泵時必須先加入潤滑油。

操作過程如下：

a. 用扳手將緊固油池的螺釘松開，取下油池。

b. 從濾網(wǎng)外向油池中注入規(guī)定量的分子泵潤滑油，即油面應(yīng)處于油標上下限之間，不得低于油標下限，以保證軸承的良好潤滑，油標為無色標志線。

c. 將油池緊固到泵體上。安裝時注意膠圈的位置和衛(wèi)生，螺釘對稱擰緊，否則容易漏氣。

注意??！

裝油池時，要注意對稱上緊，避免漏氣。

分子泵潤滑油采用不易裂變的低飽和蒸汽壓的專用分子泵潤滑油，不得用其他油品代替。潤滑油應(yīng)潔凈，嚴禁污物、雜質(zhì)和塵埃落入。必要時應(yīng)對潤滑油進行過濾。

注意！！

禁止使用其它的代用潤滑油，違規(guī)操作的任何后果，用戶自行承擔。

6.2.4 電纜聯(lián)接

電源電纜插頭與分子泵下部的電源插座聯(lián)接。聯(lián)接時注意對準槽口方向插入，然后利用螺紋擰緊到位，請不要過分用力，以防插針彎折。

7 運行

7.1 運行前注意事項

電源必須是分子泵配套電源；

各項安裝都已嚴格完成；

檢查各種連接無誤。

7.2 分子泵啟動

7.2.1 分子泵啟動方式確定

分子泵啟動方式是指分子泵與前級泵的啟動順序，可分為同時啟動和定壓力啟動兩種。

一般情況下，分子泵和前級泵可同時啟動，以防前級泵油上返。如果真空系統(tǒng)容

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積過大，應(yīng)先啟動前級泵，在真空系統(tǒng)壓強P達到200帕時，即啟動分子泵。判定標準如下：被抽系統(tǒng)為V[m3]，前級泵抽速為Sr[m3/h]

同時啟動：Sr/V＞40[h-1]

定壓力啟動：Sr/V≤40[h-1]

定壓力啟動壓力：P=e(Sr/6V)×100[Pa]

7.2.2 啟動冷卻水系統(tǒng)

開啟冷卻水系統(tǒng)，并檢查出水質(zhì)量、水壓、流量、溫度等參數(shù)以及管路連接是否有漏水現(xiàn)象，如不合格及時調(diào)整和處理。

7.2.3 啟動分子泵

根據(jù)7.2.1確定啟動方式后，啟動前級泵，同時確認前級泵與真空系統(tǒng)無誤后，按動分子泵電源的“電源”按鈕，指示燈亮，等顯示屏顯示紅色數(shù)字后，按下“啟動”按鈕，該按鈕指示燈亮，分子泵開始啟動。

注意??！

當分子泵“電源”指示燈和“外控”指示燈同時亮時，分子泵啟停不受“啟動”按鈕控制，由遠程控制分子泵。

正常情況下，分子泵啟動時間不應(yīng)大于分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)表中的啟動時間。由于軸承的磨損或真空系統(tǒng)有漏等原因會造成負載加大從而使加速時間加長，用戶在使用中應(yīng)注意觀察加速時間，從而判斷泵的使用情況。

7.3 烘烤

對于獲得10-4Pa的真空，原則上不必烘烤（濕度較大地區(qū)需要烘烤）；對于獲得10-5Pa的真空，只烘烤真空系統(tǒng)本身就足夠了；對于獲得超高真空，真空系統(tǒng)和分子泵通常需要同時烘烤。測量系統(tǒng)的烘烤應(yīng)充分，否則會由于其放氣而影響測量數(shù)據(jù)的準確性。

烘烤應(yīng)在真空度低于0.5Pa、分子泵運轉(zhuǎn)情況下進行。

泵體的烘烤溫度參見分子泵技術(shù)數(shù)據(jù)表，如果超過烘烤溫度，可能會造成分子泵的損壞，真空系統(tǒng)的烘烤溫度一般小于300℃。

烘烤的時間長短，根據(jù)系統(tǒng)及泵的污染程度和預(yù)期達到的極限工作壓強而定，但*短不得少于4小時。

7.4 停機

按一下亮著的“啟動”按鈕，松開后自動彈開“啟動”按鈕，同時該按鈕的指示燈熄滅，分子泵開始在電源的剎車作用下逐漸停止轉(zhuǎn)動。

注意：停機時不要馬上切斷電源，否則停機時間很長。

真空系統(tǒng)停止工作時，一般應(yīng)將分子泵充氣到大氣狀態(tài)，以免前級對分子泵及真空室造成污染。

停機后，若要保持真空室的真空，則應(yīng)用分子泵與真空室之間的閥門來實現(xiàn)，不宜使分子泵長時間保持真空，以至前級機械泵油蒸汽反擴散入真空室。

分子泵停轉(zhuǎn)后，關(guān)閉冷卻水，以防在泵內(nèi)形成冷凝水。