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產(chǎn)品簡介：

SR系列薄膜分析產(chǎn)品來自美國AST（Angstrom Sun）公司，其可以實現(xiàn)薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量，同樣對于材料NK參數(shù)也可以實現(xiàn)測量，為人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。

特點：

· 易于安裝

· 容易操作的基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件

· 先進的光學(xué)設(shè)計，以確保能發(fā)揮出**的系統(tǒng)性能

· 基于陣列設(shè)計的探測器系統(tǒng)，以確保快速測量

· 獨特的光源設(shè)計，有著較好的光源強度穩(wěn)定性

· 有四種方法來調(diào)整光的強度：

§ 通過電源的調(diào)節(jié)旋鈕來調(diào)節(jié)電源輸出的大小

§ 在光輸出端口濾光槽內(nèi)調(diào)整濾光片來調(diào)整

§ 調(diào)整光束大小

§ 通過TFProbe軟件，在探測器里調(diào)整積分時間

· *多可測量5層的薄膜厚度和折射率

· 在毫秒的時間內(nèi)，可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)

· 能夠用于實時或在線的厚度、折射率測量

· 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫

· 對于每個被測薄膜樣品，用戶可以利用先進的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫、也可以進行色散或者復(fù)合模型（EMA）測量分析；

· 可升級至MSP（顯微分光光度計）系統(tǒng)，SRM成像系統(tǒng)，多通道分析系統(tǒng)，大點測量。

· 通過模式和特性結(jié)構(gòu)直接測量。

· 提供的各種配件可用于特殊結(jié)構(gòu)的測量，例如通過曲線表面進行縱長測量。

· 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面。

系統(tǒng)配置：

· 型號：SR300

· 探測器： 2048像素的CCD線陣列

· 光源：高穩(wěn)定性、長壽命的鹵素?zé)?/span>

· 光傳送方式：光纖

· 臺架平臺：特殊處理鋁合金，能夠很容易的調(diào)節(jié)樣品重量、200mmx200mm的大小

· 軟件： TFProbe 2.2版本的軟件

· 通訊接口：USB的通訊接口與計算機相連

· 測量類型：薄膜厚度，反射光譜，折射率

· 電腦硬件要求：P3以上、*低50 MB的空間

· 電源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A

· 保修：一年的整機及零備件保修

選項

1用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR300RT) )

2.*低可測量直徑為5μm(MSP300)

3. 在多個位置下，多個通道用于同時測量(SR300xX)

4. 在超過200或300毫米晶片上所進行的統(tǒng)一測繪（SRM300-300/200）

規(guī)格：

· 波長范圍：400到1100 nm

· 光斑尺寸：500μm至5mm

· 樣品尺寸：200mmx200mm或直徑為200mm

· 基板尺寸：*多可至50毫米厚

· 測量厚度范圍：20nm到50μm

· 測量時間：*快2毫秒

· 精確度：優(yōu)于0.5％（通過使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）

· 重復(fù)性誤差：小于1Ǻ

應(yīng)用:

•半導(dǎo)體制造（PR，Oxide， Nitride..)

•液晶顯示（ITO，PR，cell gap... ..）

•醫(yī)學(xué)，生物薄膜及材料領(lǐng)域等

•油墨，礦物學(xué)，顏料，墨粉

•醫(yī)藥，中間設(shè)備

•光學(xué)涂層，TiO2， SiO2， Ta2O5... ..

•半導(dǎo)體化合物

•在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜

•非晶體，納米材料和結(jié)晶硅

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相關(guān)薄膜物性分析產(chǎn)品應(yīng)用及產(chǎn)品技術(shù)問題，

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薄膜物性分析儀器系列（膜厚，光學(xué)參數(shù)，反射譜及顏色，膜面阻，等）

膜厚，光學(xué)參數(shù)：

SR100 薄膜分析儀

SR300 薄膜分析儀

SR500 薄膜分析儀

SE200BA 橢偏薄膜分析儀

SE200BM 橢偏薄膜分析儀

SE200-MSP 橢偏薄膜分析儀

SE300BM 橢偏薄膜分析儀

SE500BA 橢偏薄膜分析儀

MSP100 薄膜分析儀

MSP300 薄膜分析儀

MSP500 薄膜分析儀

uRaman TechnoSpex-拉曼光譜儀及模塊

膜面阻：

EddyCus®-TF lab 2020、

EddyCus®-TF lab 4040、

EddyCus®-TF map 2020SR、

EddyCus®-TF map Hybrid 、

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EddyCus®-TF lab Hybrid

定制型