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薄膜材料廣泛應(yīng)用于光學(xué)和電氣保護(hù)膜，薄膜光伏電池和薄膜電池等各種領(lǐng)域中。盡管薄膜材料已經(jīng)存在了數(shù)十年，但熱導(dǎo)率測量方法傳統(tǒng)上一直專注于探索塊體材料樣品，而表征這些特殊材料的能力相對滯后。近年來，由于熱管理非常重要的納米和微米級制造技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，知識鴻溝逐漸縮小，而Trident薄膜導(dǎo)熱測試儀的Flex TPS瞬態(tài)平面源即是一種用于表征薄膜材料導(dǎo)熱率的新穎工具。

C-Therm Trident薄膜導(dǎo)熱測試儀的Flex TPS瞬態(tài)平面熱源法傳感器，可按照ISO 22007-2標(biāo)準(zhǔn)，用于表征薄膜材料的熱傳遞性質(zhì)。Flex TPS專門的薄膜模塊，可測量厚度為20um ~ 1 mm樣品的導(dǎo)熱系數(shù)和熱擴(kuò)散系數(shù)。并且Trident主機(jī)，除TPS方法外，還可與MTPS和TLS傳感器連用，測試更多不同類型的材料。

技術(shù)參數(shù)

無論是散熱還是絕熱，薄膜的導(dǎo)熱系數(shù)測試都具有非常重要的意義。由于薄膜材料厚度很小， 對聲子散射，這使得薄膜材料的表觀導(dǎo)熱率與塊體材料相比，會有很大的差異。傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室測試方法中包含3ω方法，此方法在1989年提出。該方法需先在被測樣品表面鍍一根薄的金屬膜，而此金屬膜即是加熱裝置，同時又是測溫裝置。對該金屬膜通交流電，從而對樣品進(jìn)行加熱。因?yàn)榻饘俚碾娮杪蕰S溫度的升高而增大，因此金屬膜的溫度變化會帶來金屬膜阻值的溫度變化，該阻值與電流的共同作用產(chǎn)生電壓。使用鎖相放大器提取電壓信號，從而建立傳熱模型。通過改變電流頻率，*終計(jì)算出被測樣品的導(dǎo)熱系數(shù)。但此測試方法操作繁瑣，限制條件較多，且無法商業(yè)化。