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超納NanoX-S 3D光學(xué)干涉輪廓儀設(shè)備，外觀精致小巧，體積小，重量輕，測量精度高，測量時間短，操作簡單方便。適用于先進(jìn)制造業(yè)中微米、納米級結(jié)構(gòu)表面微觀特征的三維精密測量，包括表面 粗糙度、表面輪廓、臺階高、表面缺陷、微 觀形貌、薄膜厚度等等。同時適用于大專院校實(shí)驗(yàn)平臺，科研院所以及各類專業(yè)檢測平臺實(shí)驗(yàn)室。
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