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MDX系列
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MDX 系列500 W
MDX 500 在真空環(huán)境中經(jīng)久耐用，能夠在磁控環(huán)境中對不同類型的電弧進行多級抑制和滅弧。在基本磁控濺射、射頻偏壓直流濺射以及直流偏壓射頻濺射中表現(xiàn)一流。其小巧的尺寸使其非常適合於實驗室系統(tǒng)和小規(guī)模的生產(chǎn)環(huán)境。
MDX 系列1 kW 和1.5 kW
精密的調(diào)節(jié)功能、優(yōu)良的滅弧和較低的存儲輸出能量使 MDX 系列直流電源成為業(yè)界的領(lǐng)先產(chǎn)品。由於在真空環(huán)境下的經(jīng)久耐用，這些適應(yīng)於惡劣環(huán)境的電源經(jīng)常被作為直流磁控管濺射傳動而受到廣泛應(yīng)用。該產(chǎn)品系列還提供精密的調(diào)節(jié)性能，如射頻濺射中的偏壓電源和蝕刻系統(tǒng)。緊密的設(shè)計使之成為實驗室系統(tǒng)首選解決方案。
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