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◆Thin Film
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◆Diffusion
技術(shù)參數(shù)：
WTC-100: NH3>99% BCL3>99% HCL>99% Cl2>99% (+NaOH) HBr>99%
WTC-200: NH3>99% HCl>99% PH3>99% SiCl2H2>99% SiH4>99% WF6>99% H2>99% ClF3>99%
WTC-300: TEPO>99% B2H6>99% NF3 >95% NH3 >99% PH3 >99% SiH4>99% TEB>99 TEOS>99% WF6>99% MA>99% HCl>99% HF>99% GeH4>99% SiCl2H2>99%
公司介紹:
漢科系統(tǒng)科技創(chuàng)立于公元1990年，經(jīng)營(yíng)團(tuán)隊(duì)多年來(lái)的努力已成為全方位系統(tǒng)整合的領(lǐng)導(dǎo)廠商之一，漢科團(tuán)隊(duì)的專業(yè)技術(shù)能力和豐富的工程實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)，成立了全方位的系統(tǒng)整合服務(wù)平臺(tái)。
漢科系統(tǒng)科技獲得的國(guó)際質(zhì)量管理的認(rèn)證有ISO 9001， SEMI S2， 和OHSAS 1800。公司內(nèi)部嚴(yán)格的控管生產(chǎn)及施工步驟，如工安管制，質(zhì)量管理，采購(gòu)控管、項(xiàng)目進(jìn)度控制、現(xiàn)場(chǎng)協(xié)調(diào)、預(yù)算控制、材料查驗(yàn)...等。
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
◆簡(jiǎn)單界面，易于操作；
◆粉塵捕捉效率高；
◆節(jié)約用水；
◆符合工廠設(shè)備安全要求；
◆PM周期長(zhǎng)，且PM時(shí)間短；
◆運(yùn)行成本低；
◆可根據(jù)客戶需求，提供客制化服務(wù)。
◆客服響應(yīng)時(shí)間短，備品備件充足
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