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Semilab–Sopra橢偏儀
Semilab–Sopra橢偏儀

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儀器簡介:

應(yīng)用:

◆ 薄膜厚度、n值及k值的測量,可應(yīng)用于任何薄膜生長或者鍍膜工藝的監(jiān)控。

技術(shù)參數(shù):

Sopra公司是世界上*知名的橢偏儀設(shè)備供應(yīng)商,其高精度的橢偏儀在半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體(GaAs/SiC)、LCD及MEMS領(lǐng)域有著非常廣泛的應(yīng)用。目前,全世界有超過500臺的Sopra橢偏儀應(yīng)用于各個行業(yè)。

主要特點(diǎn):

◆ 高精度的薄膜測量(膜厚、n值、k值);

◆ 全世界**家寬光譜橢偏儀技術(shù)的***;

◆ VLSI及其他的測試標(biāo)準(zhǔn)均由Sopra標(biāo)第;

◆ 強(qiáng)擴(kuò)展性:Fast UV VIS CCD 模式,高分辨率DUV-VIS模式及FTIR/4PP功能。

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