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日本樣本
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應(yīng)用:
◆半導(dǎo)體及相關(guān)領(lǐng)域。
技術(shù)參數(shù):
E-Square公司致力于提供專業(yè)的電漿(Plasma)清洗解決方案,公司生產(chǎn)的常壓電漿清洗設(shè)備以其專業(yè)可靠的品質(zhì)贏得了市場的一致認(rèn)可。
主要特點(diǎn):
◆無塵;
◆低溫處理(基板上升溫度:常溫~5℃);
◆無傷害(與UV燈處理相同程度) ,已申請專利;
◆無靜電放電(處理后的ESD值為0~50V以內(nèi),由于正、負(fù)離子的產(chǎn)生,故處理前不需要負(fù)離子空氣凈化器裝置);
◆2年內(nèi)免維修(2年一次的點(diǎn)檢作業(yè));
◆小型、重量輕;
◆裝置稼動率99.5%以上;
◆反應(yīng)裝置的部分幾乎可**使用。
暫無數(shù)據(jù)!