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KLA-Tencor Candela CS光學(xué)表面分析儀
KLA-Tencor Candela CS光學(xué)表面分析儀

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

品牌

產(chǎn)地

美國(guó)

樣本

暫無
新耕(上海)貿(mào)易有限公司

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第2年

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生產(chǎn)商

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技術(shù)參數(shù):

Candela CS1 SPECIFICATIONS

Substrate

Sizes: 2 in. – 200 mm diameter*

*Other sizes may be available on request

Thickness: 350 μm – 1,100 μm

Material: Any opaque, polished surface which scatters

≥ 10% of incident light

Any clear, polished substrate which scatters ≥ 10% of incident light

Defect Sensitivity

0.3 μm diameter PSL sphere equivalent ≥ 95% capture rate

(PSL on bare Si)

Other Defects and Applications

Defect Types: Particles, scratches, stains, pits, and bumps.

Classification accuracy and minimum

detectable sizes depend on optical

signatures of defects.

Sensitivity: Minimum detectable size for automatic

defect classification:

- Scratches: 100 μm long, 0.1 μm wide,

50 Å deep

- Pits: 20 μm diameter, 50 Å deep

- Stains: 20 μm diameter, 10 Å thick

Note: Defect signal must be more than 3x background P-V signal

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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