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當今高精電子束設備對環(huán)境磁場及其動態(tài)變化是非常敏感的。環(huán)境磁場使電子束產生偏移，從而導致設備分辨率和測量精度的減低。SC22系統(tǒng)是一種三維空間內的交流磁場補償系統(tǒng)，通過傳感器感知空間環(huán)境中交流磁場及其變化量，控制器通過三維空間線圈來提供反磁場，抵消環(huán)境磁場給電子束設備帶來的影響，恢復應有的分辨率和精度。
SC22特點及技術參數如下：
通過穩(wěn)定磁場環(huán)境確保您購置的電子束科技設備應有性能
消除和監(jiān)測交流磁場
低成本高性能系統(tǒng)
智能用戶界面
自動運行，連續(xù)實時補償磁場
交流磁場可消除范圍：0.5 Hz to 5 kHz；市電60 Hz的交流背景磁場可被改善50倍
完整的X， Y， Z三軸消磁系統(tǒng)
可消除場強高達60 mG (6.0 μT) pk-pk
磁場躍變響應速度：100 μs以內
高靈敏度傳感器，可精確反饋環(huán)境磁場變化；支持雙傳感器，用于抵消TEM透射電鏡和高突變環(huán)境磁場
USB監(jiān)控端口
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