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三靶大面積濺射系統(tǒng)之旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵版本，CPU程序全自動(dòng)控制，觸膜屏用戶界面，適合不氧化的貴金屬如金（Au）、鉑（Pt）等靶材鍍膜。

Q300R T鍍膜儀是為薄膜應(yīng)用而設(shè)計(jì)的多功能離子濺射鍍膜儀，也是鎢燈絲和場(chǎng)發(fā)射電鏡觀察之大樣品制備的理想鍍膜儀。為了確保精細(xì)沉積，Q300系列鍍膜儀設(shè)有旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)和三只相同的磁控靶組件，這也將提高采用低電壓濺射的工作效率。該系統(tǒng)之旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵版本Q300R T，適合使用不氧化的貴金屬如金（Au）、鉑（Pt）等靶材鍍膜。

和極其成功的Q150系列濺射儀、蒸鍍儀一樣，Q300R T型鍍膜儀裝在一個(gè)符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)的、堅(jiān)固的整體成型機(jī)箱中，并且集成有觸摸屏控制，對(duì)有經(jīng)驗(yàn)的熟手和**次使用的用戶都適合的簡(jiǎn)單操作，從而可提供**的鍍膜質(zhì)量。

主要特點(diǎn)：

• Large format chamber.The Q300 RT sputter coaters incorporate a 300mm x 127mm work chamber and the sample stage accepts substrates up to 8” in diameter. An extended height glass chamber is available as an option to enable coating of larger format samples. 大腔室。Q300 RT型濺射鍍膜儀設(shè)有尺寸為300mm x 127mm的工作腔室和適用于**直徑達(dá)8”樣品的樣品臺(tái)?？蛇x配加長(zhǎng)高腔室，以便于大且高的樣品鍍膜。

• Triple sputter head 三靶大面積濺射

• Rotary pump version 旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵版本

• Fully automated touch screen control 全自動(dòng)觸摸屏控制

• Coater logging option 鍍膜儀日志（選項(xiàng)）

• Customer defined coating protocols 用戶自定義鍍膜方案

• Film thickness monitor option 膜厚監(jiān)控（選項(xiàng)），可通過(guò)腔室內(nèi)的晶振片裝置測(cè)量鍍膜厚度，也可預(yù)設(shè)厚度去控制材料沉積在樣品上的膜厚度，達(dá)到需要的鍍膜厚度時(shí)，鍍膜儀可自動(dòng)停止鍍膜

• Vacuum shutdown 真空閉鎖功能

• Emergency stop switch 緊急停止開關(guān)