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簡介
1200℃低真空CVD系統(tǒng)是由滑動式管式實驗電爐,混氣系統(tǒng),真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結(jié)溫度可達1200℃,通過滑動爐體來實現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度;同時通過三路高精度質(zhì)量流量計控制不同氣體。是為石墨烯生長、研發(fā)的專用爐,也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。
主要技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu) | 整機采用SUS304不銹鋼材質(zhì),流線型外觀,斷熱式結(jié)構(gòu); 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好; 爐子底部裝有一對滑軌,移動平穩(wěn); 爐子可以手動從一端滑向另一端,實現(xiàn)快速的加熱和冷卻; 支撐兩端安裝油壓緩沖器; 爐蓋可開啟,可以實時觀察加熱的物料 |
尺寸重量 | 1240*600*1340mm;170kg |
電源 | 電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4KW |
爐管 | 高純石英管,高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數(shù)極??; 尺寸:Φ60/80/100*1200mm |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭,通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空; 一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷; 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐; 包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合。 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲,表面負荷高、經(jīng)久耐用; 加熱區(qū)長度:300mm;恒溫區(qū)長度:150mm; 工作溫度:≤1150℃; **溫度:1200℃; 升溫速率:推薦≤10℃/min,*快升溫速度30℃/min |
溫控系統(tǒng) | 日本富士儀表,64段控溫程序,可分步、分段; 測溫元件:N型熱電偶; 控溫精度:±1℃ |
混氣系統(tǒng) | 三路質(zhì)量流量計:數(shù)字顯示、氣體流量自動控制 內(nèi)置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管,接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量 流量規(guī)格:0~1SLM 流量精度:±1.5% |
真空系統(tǒng) | 采用雙極旋片真空泵,真空度可達10Pa |
可選配件 | 高真空系統(tǒng),各種剛玉、石英坩堝,石英管,計算機控制軟件 |
保修期 | 整機一年保修(相關(guān)耗材除外) |
可根據(jù)客戶要求定制!
特色與優(yōu)勢
1.滑動式爐體結(jié)構(gòu)實現(xiàn)快速升降溫;
2.開啟式爐蓋設(shè)置,降低沉積溫度、加快沉積速度;
3.日本富士溫控儀表,64段控溫程序,可分布,分段,三路質(zhì)量流量計,數(shù)字顯示精確控制氣體流量;
4.雙極旋片真空泵+分子泵,實現(xiàn)對真空度的不同要求,極限真空可達4.0*10-4Pa。
暫無數(shù)據(jù)!
產(chǎn)品質(zhì)量
售后服務
易用性
性價比