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（1）應(yīng)用領(lǐng)域

計(jì)量領(lǐng)域（平面平晶檢測(cè)），

半導(dǎo)體工業(yè)（晶片檢測(cè)），

大平板顯示（平面檢測(cè)），

手機(jī)工業(yè)（背板檢測(cè)），

光學(xué)加工（窗口玻璃檢測(cè)），

高精度精密機(jī)械（平面元件檢測(cè)），

LED工業(yè)（藍(lán)寶石襯底檢測(cè)），

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和科研院校教學(xué)儀器等多種領(lǐng)域。

平面平晶、窗口玻璃、光學(xué)平面、金屬平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速測(cè)量，90°直角棱鏡和角錐測(cè)量。

（2）產(chǎn)品綜述

無(wú)應(yīng)力平面檢測(cè)干涉儀是高性能模塊化組合檢測(cè)干涉儀中的一種，

它采用組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于高效檢測(cè)高精度平面。

該產(chǎn)品包括光源、主機(jī)、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際水平， 采用更加簡(jiǎn)便操作的俯式測(cè)量，擁有極高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性，

突破了一等平面平晶限制，且其采樣點(diǎn)可達(dá)上百萬(wàn)像素，能客觀反映被測(cè)平面全貌。不僅測(cè)量精度高，而且具有極高的測(cè)量效率。

此款干涉儀可廣泛應(yīng)用高精度光學(xué)元件制造、計(jì)量檢測(cè)、生物醫(yī)學(xué)、

航空航天、國(guó)防、微電子、能源等眾多領(lǐng)域具有廣闊的市場(chǎng)前景。

（3）參數(shù)性能

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