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進口品牌渦輪分子泵和無油隔膜泵的**配合產生一個潔凈的<3*10-6 Torr的真空壓強。特別適用于TEM 樣品桿的真空存儲、檢漏和樣品等離子體清洗用途。采用遠程射頻離子源清洗,高效、低等離子體轟擊損傷。標配兩路清洗氣體流量控制器,觸摸屏控制,即插即用。
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