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基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測(cè)量原理,采用先進(jìn)控制技術(shù)和傻瓜化的操作,使得FST1000薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x特別適合于要求快速測(cè)量常規(guī)薄膜殘余應(yīng)力。
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