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KLA探針式表面輪廓儀P-17(臺階儀)
KLA探針式表面輪廓儀P-17(臺階儀)

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美國

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優(yōu)尼康科技有限公司

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KLA 探針式表面輪廓儀(臺階儀) P-17

P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

產品描述

P-17是第八代臺式探針輪廓儀(臺階儀),是40多年的表面量測經驗的結晶。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D3D測量,其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

該系統(tǒng)結合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統(tǒng)以及帶光學變焦的高分辨率相機等功能,程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法,可以支持2D3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

主要功能

· 臺階高度:幾納米至1000μm

· 微力恒力控制:0.0350mg

· 樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

· 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機

· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

· 軟件:簡單易用的軟件界面

· 生產能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

主要應用

· 臺階高度:2D3D臺階高度

· 紋理:2D3D粗糙度和波紋度

· 形狀:2D3D翹曲和形狀

· 應力:2D3D薄膜應力

· 缺陷復檢:2D3D缺陷表面形貌

工業(yè)應用

· 大學、研究實驗室和研究所

· 半導體和化合物半導體

· LED:發(fā)光二極管

· 太陽能

· MEMS:微機電系統(tǒng)

· 數據存儲

· 汽車

· 醫(yī)療設備

· 還有更多:請與我們聯系以滿足您的要求

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