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Filmetrics F3 薄膜厚度測(cè)量?jī)x
經(jīng)濟(jì)適用的反射率測(cè)試系統(tǒng)
F3系統(tǒng)是專門為采集反射率光譜曲線設(shè)計(jì)的,并且可選配至厚度和指數(shù)測(cè)試功能,基本通用型擁有40000個(gè)小時(shí)適用壽命的光源及自動(dòng)波長(zhǎng)校準(zhǔn),大大提高了測(cè)試準(zhǔn)確度。
快速厚度測(cè)試
升級(jí)厚度測(cè)試軟件許可后,厚度值將在測(cè)試數(shù)據(jù)結(jié)果中直觀的顯示。軟件中存入了常用的介質(zhì)材料及半導(dǎo)體層的光學(xué)常數(shù)。
指數(shù)測(cè)試功能(n 和 k)
對(duì)于更高級(jí)用戶來(lái)說(shuō), 指數(shù)測(cè)試軟件升級(jí)能在短時(shí)間內(nèi)提供折射率和消光系數(shù)。
Filmetrics的優(yōu)勢(shì)
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精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效的存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果
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