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LS-SCAN是LASEA獨(dú)有的高速度、高加速度掃描振鏡，采用**技術(shù)，專業(yè)用于激光微納加工和高精度打標(biāo)等應(yīng)用。

傳統(tǒng)標(biāo)刻應(yīng)用需要高掃描速度，同時(shí)需要精度在30μm左右，微納加工需要高掃描速度以防止熱量累積，但是精度更為重要，而且，加工圖案通常有更多的細(xì)節(jié)，需要不斷的加速。

LS-Scan振鏡技術(shù)，基于平動(dòng)線圈馬達(dá)，不同于傳統(tǒng)的移動(dòng)磁鐵技術(shù)。動(dòng)圈設(shè)計(jì)比移動(dòng)磁鐵更輕，且動(dòng)圈的耗電量比移動(dòng)磁鐵的少5倍，LS-Scan振鏡利用此技術(shù)大大降低了熱漂移，且加速斜坡比傳統(tǒng)使用移動(dòng)磁鐵技術(shù)的振鏡小20%。正是由于這些優(yōu)異的性能，才可以使用更高的激光功率而不會(huì)降低加工精度，同時(shí)也大大提高加工效率。

LS-Scan鏡所有的主要電子控制部件都集成在LASEA的控制機(jī)架，進(jìn)一步增加了LS-Scan的熱穩(wěn)定性。振鏡馬達(dá)很容易地連接到機(jī)架上，機(jī)架通過以太網(wǎng)接口連接到電腦。所有輸入和輸出很容易從機(jī)架后面板訪問。整個(gè)過程是由LASEA的KYLA™軟件驅(qū)動(dòng)的，這是一個(gè)完整的微納加工軟件，能夠與多個(gè)平臺(tái)、CCD和激光器通信。

每個(gè)LS-Scan馬達(dá)都與可固定在導(dǎo)軌上的控制卡連接，控制卡通過以太網(wǎng)接口連接電腦。工藝過程通過KYLA軟件控制，KYLA軟件是一個(gè)全功能微納加工軟件，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)振鏡、多個(gè)平臺(tái)、影像系統(tǒng)(相機(jī))和激光器之間的通訊。另外，使用標(biāo)準(zhǔn)的XY2-100協(xié)議可以兼容外部的控制卡和軟件。

主要特點(diǎn)：

- 高加速度

- 高精度

- 低熱漂移

- 可選3D功能

- 易于連接的KYLA微納加工軟件

- XY2-100協(xié)議兼容

主要規(guī)格

振鏡尺寸

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