接觸電阻率測量儀 TLM

這款緊湊型儀器測量成品太陽能電池的接觸電阻率，手指線電阻，手指寬度和手指高度，或者測試結(jié)構(gòu)。

通過在所有軸上電動化，可以通過按一個按鈕來創(chuàng)建所有這些方法的地圖。

用于測量薄擴散層的薄層電阻和晶圓電阻率的四點探頭，使得TLM-SCAN 成為一種低成本，快速，高質(zhì)量的四點探針貼圖儀。

使操作更簡單的功能：

自動位置校正以獲得**接觸質(zhì)量

蓋子關(guān)閉時自動啟動

自動采樣編號

軟件探頭識別

精確的導(dǎo)航與歡樂棒和顯微鏡相機

通過點擊圖像來探測定位和重新測量單點

一個樣品上多個TLM測試圖案的批處理模式

序列模式通過按一個按鈕來測量接觸電阻率和手指幾何圖形的映射

TLM-SCAN+

接觸電阻率測量及更多

方法：

接觸電阻率

手指線電阻率

手指寬度與顯微鏡

與表面輪廓儀的手指高度

采用四點探針的晶圓電阻率

帶四點探頭的薄層電阻

強調(diào)：

可調(diào)TLM探頭

覆蓋整個太陽能電池

查克14條帶獨立真空條紋

TLM-SCAN

接觸電阻率映射

采用合適的測試結(jié)構(gòu)的傳輸長度方法是測量前端金屬化接觸電阻的*準確方法。然而，接觸電阻可能在太陽能電池上顯著變化，使得在成品太陽能電池上測量它的空間分辨方法是必要的。 TLM-SCAN創(chuàng)建了用激光或切割鋸切割成條紋的太陽能電池的接觸電阻率的映射。

特別決議：

所有結(jié)果在整個太陽能電池上的映射

單指分辨率

快速：

在一秒內(nèi)測量8個針對之間的所有組合。

使用方便：

出色的重復(fù)性：在同一條紋上測量接觸電阻14次。

mWcm2

靈活：

• 用于傳統(tǒng)TLM測試圖案和成品太陽能電池以及線路電阻的各種探頭。

• 與其他測量結(jié)合使用

• 支持選擇性發(fā)射器

精確：

• 分辨率通常為0.2mWcm2

• 報道了不確定性值

• 更正分流

• 正確解釋中間手指

• 針檢查無視四線接觸設(shè)置無效的手指

• 沒有光線相關(guān)的文物

• 沒有連接到繼電器矩陣的可靠性問題

• 在幾秒內(nèi)更換探頭

• 存儲在配方中的所有設(shè)置

• 自動位置校正以獲得**接觸質(zhì)量

• 蓋子關(guān)閉時自動啟動

• 探頭由軟件識別

• 一個樣品上多個TLM測試圖案的批處理模式

以激情設(shè)計：

• 點擊圖像定位和重新測量單點

• 精確的游戲桿位置控制

• 機器上的功能按鈕和自動編號可以在不觸碰PC的情況下進行操作

• 評估并重新評估其他PC上的數(shù)據(jù)庫測量結(jié)果